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基于 FIB 制备表面增强拉曼散射 基底的研究 The Study of High Performance Surface-enhanced Raman Scattering Substrates Developed by Focus Ion Beam Nanofabrication 学科专业：仪器科学与技术 研 究 生：高婷婷 指导教师：房丰洲 教授 天津大学精密仪器与光电子工程学院学院 二零一二年十二月 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作和取得的 研究成果，除了文中特别加以标注和致谢之处外，论文中不包含其他人已经发表 或撰写过的研究成果，也不包含为获得 天津大学 或其他教育机构的学位或证 书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中 作了明确的说明并表示了谢意。 学位论文作者签名： 签字日期： 年 月 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解 天津大学 有关保留、使用学位论文的规定。 特授权 天津大学 可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检 索，并采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编以供查阅和借阅。同意学校 向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘。 （保密的学位论文在解密后适用本授权说明） 学位论文作者签名： 导师签名： 签字日期： 年 月 日 签字日期： 年 月 日 摘 要 最近几年，物质的检测成为人们很关心的一个话题。拉曼散射凭借其低成本、 实时性检测的特点，在物质检测及传感领域中占据重要的地位。但由于拉曼散射 信号比较低的限制，自从这个现象被发现以来一直没有被广泛应用，直到 1977 年表面增强拉曼散射（SERS）现象出现，研究者发现当把待测物放置在粗糙的 贵金属上时，拉曼信号可以得到几个量级的提高。因此，将拉曼散射推向实际应 用的重要因素便是 SERS 基底的制备。 传统制备 SERS 基底的方式主要有电化学粗糙法、化学合成法及模板法，但 是到目前为止制备具有高灵敏度及高稳定性的 SERS 基底仍然存在很大困难。拉 曼增强的主要原因归功于局域表面等离子体共振效应，即要求阵列间隙足够小。 而聚焦离子束技术作为一种微纳加工技术，在 SERS 基底制备方面表现出很大的 优势。 本文主要从两个方面进行 SERS 基底的研究，一方面通过光学模拟方法设计 并优化特定波长下的最优结构阵列，另一方面利用聚焦离子束制备高精度、一致 性的 SERS 基底。实验中发现，由于金膜质地柔软的特性很难获得小间隙的结构， 因此提出了一种简单、有效地加工方式，即先用聚焦离子束在硅片上加工结构然 后通过后续镀金膜实现拉曼活性，后续通过参数优化及对金膜厚度的研究得到了 一种高增强的 SERS 基底；另外，利用电子束辅助沉积的功能制备双金属 SERS 基底，最后成功制备出三维立体纳米圆锥阵列；通过对基底表征发现该方法制备 的结构具有较高的灵敏度、稳定性及重复使用性，如：SERS 基底结构的阵列间 隙可以达到 10nm 以下，而且拉曼增强因子高达 107 倍等。 关键词： 表面增强拉曼散射， 聚焦离子束加工，FDTD 电磁模拟， 纳米结构 ABSTRACT Material testing has become one of the most concerned topics in recent years. Raman Scattering is a powerful tool for trace detections and biochemical applications because of its ultrasensitivity, low-cost, and real-time. Howere in a long time after the Raman scattering was discovered, the applications in bio-sensing had been limited by its inherent much weak signal until 1977, the researchers found that Raman Scattering signal can be largely enhanced by roughened noble metal surface. Therefore the most critical aspect of SERS is the research of efficient SERS-active substrates. The traditional way to fabricating SERS substrates includes electrochemical meth