基于bst变容管的电调带通滤波器的研制-材料科学与工程专业论文.docxVIP

摘要 摘要 万方数据 万方数据 摘 要 随着多模式、多频段通信技术的发展，可调带通滤波器以其响应速度快、体 积小、工作电压低等特点,越来越受到人们的关注。利用钛酸锶钡（BaxSr1-xTiO3） 薄膜优良的介电非线性特性可以进行电调微波器件的研制。 本文利用了钛酸锶钡薄膜的介电非线性，在研制 BST 铁电电容器的基础上， 分别进行了梳状线电调带通滤波器和单片集成开环耦合带通滤波器的设计、仿真、 制作和测试，本文的主要内容为： (1) 采用已经优化了 BST 薄膜制备工艺，制备出了可调约为 55%（40V），介电损 耗约为 0.08%的 BST 薄膜。 (2) 采用 BST 铁电电容作为调谐元件，在聚四氟乙烯(FR-4)基片(相对介电常数为 2.65，厚度为 0.5mm)上研制了梳状线电调带通滤波器。测试表明：随着偏压从 0V 增加到 35V，回波损耗都在 13dB 以上，端口达到很好的匹配；电调带通滤 波器的中心频率 fo 从 2.10GHz 移动到 2.39 GHz，调谐带宽约为 280MHz，调 谐率为 15%左右；带内插入损耗从 11dB 降到 7.3dB,1dB 带宽从 270 MHz 减小 到 210 MHz；同时在通带内有良好的群时延。 (3) 基于 BST 变容管调谐技术，采用微细加工工艺在 Al2O3 基片上研制了单片集成 开环耦合带通滤波器，测试结果表明：未加偏压时，电调带通滤波器的中心频 率为 1.55 GHz，1dB 带宽为 200MHz，回波损耗在 12dB 左右，带内插损约为 9.1dB。随着偏压从 0V 增加到 50V，回波损耗都在 13dB 以上，端口达到很好 的匹配。开环耦合电调带通滤波器的中心频率 fo 从 1.55 GHz 移动到 1.75 GHz， 调谐带宽 200MHz，调谐率为 13%左右。带内插入损耗从 9.1dB 降到 5.2 dB,1dB 带宽从 200 MHz 减小到 180MHz。 关键词：BST 薄膜，谐振器，梳状线电调带通滤波器，开环耦合电调带通滤波器 I ABSTRACT ABSTRACT ABSTRACT With the development of multi-mode and multi-band communications technology, tunable band-pass filters take more and more attentions for its fast response, small size, low control voltage. Barium strontium titanate (BaxSr1-xTiO3) is largely used in microwave device due to their large field dependent dielectric constant. The dielectric nonlinearity of barium strontium titanate is used on the basis development of BST ferroelectric capacitors, combline tunable bandpass filter and monolithic integration of open loop coupling bandpass filter are designed , simulated, producted and tested respectively .the main contents of this article is: BST thin films which have high dielectric adjustable approximately rate of 55% (40V) and low dielectric loss of about 0.08% is produced by magnetron sputtering. BST ferroelectric capacitors with adjustable rate of about 50% and dielectric loss of about 1.0% are fabricated by micro-fabrication techniques. Combline tunable band-pass filter is developed on FR-4 substrate using BST ferroelectric capacitors as tuning elements. The measure results show that: Wit