双源共蒸法制备非均匀膜的模型分析-物理学报.PDF

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 (’ ! ##( ! ， ， ， @AB +(’ ?A + ! C2D02/E ##( （ ） !###5%#6##(6(’ #! 6#(5#) 7897 :;=87 =?87 !##( 8FGD + :FEH + =AI + !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 双源共蒸法制备非均匀膜的模型分析 ）） ） ） ） ! ! ! ! 沈自才 王英剑 范正修 邵建达 !）（中国科学院上海光学精密机械研究所，上海 #!$## ） ）（中国科学院研究生院，北京 !###% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ##’ ( %! ##’ ) !* 探讨了双源共蒸法制备非均匀薄膜的堆积模型，并给出了非均匀膜的沉积速率与两种膜料沉积速率的关系+ 当两种膜料的沉积单分子大小近似相等或者小分子沉积速率远大于大分子时，可以近似认为混合介质膜的沉积速 率等于两种膜料的沉积速率之和；当两种膜料的沉积单分子大小不满足近似相等且两种膜料的沉积速率可比较 时，非均匀膜的沉积速率不能简单地用两种膜料的沉积速率之和来近似，它将随两种膜料沉积单分子的大小不同 和沉积速率比不同按照不同的规律变化，并在文中给出了不同情况下的非均匀膜的沉积速率变化规律+ 关键词：非均匀膜，共蒸法，模型 ： ， ， !## *$(( $!!(, $!!#- 不同膜料的沉积速率，从而来实现混合介质膜的折 ［］ !. 引 言 射率的逐渐变化* ，但是通常是利用梯度模型等效 ［，］ 连续变化的渐变折射率薄膜) $ + 而对多元共蒸法制 渐变折射率薄膜，又称为非均匀膜，其主要特 备渐变折射率薄膜，为了简单考虑，一般假设总的沉 征为沿着膜层表面的法线方向折射率连续变化，而 积速率不受单分子体积大小的影响，为各膜料的沉 ［］ 在垂直于法线的水平方向上折射率保持不变! + 传 积速率之和，从而带来很大的误差+ ［， ］ 统光学薄膜是基于分层介质理论模型来设计的，但 !# 杨宁等 对薄膜生长的动力学模型已经进行 是，由于膜层之间存在界面，界面的跃变特性及其不 过一些探讨 本文以双源共蒸法为例，不考虑薄膜沉