超高真空-四探针扫描隧道显微镜系统彻底改造和其强大功.PDFVIP

超高真空-四探针扫描隧道显微镜系统的彻底改造 及其强大功能的实现 扫描隧道显微镜（STM）发明于二十世纪八十年代初，这一强大的工具赋予 人们研究和操控微观体系的能力。传统的单探针STM 可以用来研究样品的形貌 和材料局域的电子结构等性质，然而其无法测量低维体系的横向电输运特性。为 了将输运测试能力与极高空间分辨率相结合，人们陆续开发了双探针、三探针甚 至四探针等多探针STM 系统。其中，四探针STM 同时兼容标准的四端输运测试 方式，可以更准确对样品输运性质进行原位表征。 国际上第一代商业化超高真空（UHV ）四探针STM 系统是由知名的科研仪 器生产商德国 Omicron 公司所生产。作为世界上最早的商用化多探针系统 （型 号： UHV Nanoprobe ），其在实际应用中无法有效地对纳米体系原位形貌与输运 研究，如：通常条件下无法获得原子级分辨图像，亦不能形成稳定的点电极接触。 上述不足是由该系统的设计缺陷所致：首先，系统的机械振动隔绝设计相对简单， 成像时存在严重噪音。其次，降温时仅有样品被冷却且直接暴露于室温环境中。 因此，样品最低温度过高且与针尖之间存在较大的温度梯度，导致了显著的热漂 移和热电子注入，很大程度上影响了输运测量的精度，所测得的扫描隧道谱 (dI/dV)亦不可信。此外，系统还存在扫描结构易耦合噪音、定位所用扫描电镜 （SEM）老化等缺陷和问题。 中国科学院物理研究所高鸿钧研究组（N04 组）多年来一直致力于扫描探针 显微学研究及其高精尖技术与设备的研发，在科学上取得了一系列重要成果，同 时也为研制该类高精尖仪器奠定了雄厚基础。近期，在物理所技术部郇庆副研究 员的直接指导与带领下，该研究组的博士生马瑞松、严佳浩、吴良妹等对这台商 业化四探针STM 系统进行了全面彻底的改造，从根本上解决了系统信噪比、机 械和温度稳定性、成像分辨率以及降温等问题。 针对原有系统所存在的噪音大、温漂显著、分辨率低（参见图4 b-c ）等问题， 他们将该系统进行了多方位的彻底改造，包括减振与阻尼、扫描结构、导热链接 与热屏、针尖定位SEM 的替换等等。 1. 减振与阻尼 在保留空气腿减振和氟橡胶圈减振的同时，增加了悬挂弹簧以及有效磁阻尼 结构 （图1）。 2. 扫描结构 针对四探针系统应用的特点，他们采用了双扫描管结构，即可以保证大的扫 描范围又可同时实现高空间分辨率 （图2 ）。 3. 导热链接与热屏蔽 他们更改了原有设计中与冷指的连接方式，在样品外围增加了内外两层热屏 蔽罩（图2 ），并将小扫描管和针尖包裹于其中，进一步降低外界热辐射的影响。 4. 将SEM 替换为光学显微镜 为了对样品进行无损观察，他们将原设计所使用的 SEM 替换为一台长焦距 的光学显微镜（分辨率为1.1 微米），并为其设计了一部移动支撑台（图3 ），可 以实现对纳米结构快速高效地 “定位”。 经过此次彻底改造，该四探针系统在原子级别成像 （图4 ）、降温能力以及输 运测试 （图5 ）稳定性方面的性能得到了根本性的提升。这种双扫描管联动扫描 机制，可以同时实现大范围的针尖定位和高扫描精度，使之成为了具有鲜明特色 微纳体系的表征和物性测量平台。在针对绝缘衬底上样品的输运测量中，他们提 出了以针尖与栅极之间电容信号作为反馈的进针机制，解决了STM 系统无法利 用隧穿电流进行反馈的难题。目前，他们物理所仪器专项的资助下正在研发一套 “分时复控电路单元” ，将为多探针 SPM 系统提供低成本的分时控制解决方案， 进一步发挥该系统的特色和优势。 相关仪器装备彻底改造及其建设的工作发表在近期的 《科学仪器评论》杂志 上【Review of Scientific Instruments, 88(6):063704, 2017 】上。 该工作得到了科技部（2013YQ1203451 ）、国家自然科学基金委 ）和中国科学院的资助。 相关工作链接： /doi/abs/10.1063/1.4986466 图注： (a) Commercial design (b) Our design 图1. 原商用系统（a ）与升级方案（b ）中STM 核心部件的比较。 图2. 降温和扫描机构的设计。（a