蓝宝石基片双面磨削机床结构设计与分析-机械制造及其自动化专业论文.docxVIP

优秀毕业论文 精品参考文献资料 大连理工大学硕士学位论文摘 大连理工大学硕士学位论文 摘 要 蓝宝石(伐．A1203)以其优良的机械、光学和化学等特性被广泛应用于工业生产的诸 多领域。随着科技的发展，蓝宝石基片的尺寸越来越大，精度要求越来越高，蓝宝石基 片高效低损伤加工技术已成为制约相关领域关键零部件制造的瓶颈。尤其是对大尺寸 (0130mm)蓝宝石基片来说，制造技术和加工设备面临着严重的挑战。目前，蓝宝 石基片的平整加工主要采用游离磨料双面研磨工艺，不仅加工精度和表面质量一致性差， 加工效率低，废品率高，而且现有的设备加工能力不足，难以满足直径0130mm的蓝 宝石基片的双端面加工要求。基于固结磨料磨盘磨削技术的加工机床，目前国内外正处 于研发阶段。 本课题针对大尺寸(0130mm)蓝宝石基片双面高效超精密磨削加工对磨削压力、 磨削温度、机床运动精度和刚性及稳定性的要求，进行磨盘修整、大压力加载与控制、 磨削温度实时监测与控制、高刚性支撑、高精度和高平稳性运转等关键技术研究，研制 出基于固结磨料磨盘磨削技术的蓝宝石基片双面磨削机床，具体研究内容如下： (1)推导了双面行星式磨削加工过程中磨粒相对于工件和工件相对于磨盘的运动轨 迹方程；应用Matlab软件，仿真分析了磨粒位置、磨盘转速和工件位置对于轨迹分布 的影响规律：重点研究了轨迹线的分布范围、均匀程度和曲率，提出了工件的放置、加 工参数的选择和磨盘的修整方案。 (2)研究了加工过程中大压力加载与控制技术，提出使用双液压缸进行大压力加载 以及压力的实时检测和反馈控制方法，并对大压力工作条件下的高刚性支撑结构进行设 计，解决了大尺寸磨盘及机床结构受力变形过大的技术难题。 (3)研究了双面磨削过程中磨削温度实时检测与控制技术，优化设计出具有全封闭 迷宫式水冷结构的上／下磨盘，提出了具有高可靠性的机床跨轴系流体输送和密封方法， 实现了磨盘温度的实时检测与控制。 (4)应用Solidworks软件，建立了蓝宝石基片双面磨削机床的三维虚拟样机，进行 了双面磨削机床结构件和关键零部件的静力分析和模态分析，完成了各部分结构的优化 设计，研制了蓝宝石双面磨削机床。 (5)在所研制机床上使用400#陶瓷树脂结合剂金刚石磨盘进行双面磨削试验，样件 为10片0130mm直径蓝宝石基片，设定磨削压力500 g／cm2，磨削区温度40。C。加工 过程机床运转平稳；加工后对双面磨削后蓝宝石表面质量进行检测，蓝宝石上、下表面 粗糙度均值分别为304．7 rim和371．7 rliil，达到游离磨料研磨质量，平均材料去除率为 万方数据 蓝宝石基片双面磨削机床结构设计与分析44 蓝宝石基片双面磨削机床结构设计与分析 44．2 gm／min，远高于游离磨料研磨。试验表明，所研制的双面磨削机床满足蓝宝石基片 的高效高精度加工要求。 关键词：蓝宝石；双面磨削；轨迹仿真；磨削压力；磨削温度 万方数据 大连理工大学硕士学位论文1 大连理工大学硕士学位论文 1绪论 1．1论文研究背景 发光二极管(Light Emitting Diode，LED)具有能量转换效率高、反应快、寿命长、 耐震荡、体积小、便于聚焦、单色性强、色域广阔等优点，在照明、显示和背光光源 等领域得到了广泛的应用。调查显示至2015年全球LED照明市场规模将达到257亿美 元，约占照明市场总规模的31％，国内这一比例将超过45％；而在显示领域，2013年 LED显示屏国内市场规模为5亿元，到2015～2016年将超过100亿元；做为背光光源使 用时，LED背光具有低能耗、高画质、长寿命和绿色环保等优点，目前在中小尺寸平板 电脑、智能手机和LCD TV等大尺寸背光领域中，LED渗透率都己达到80％甚至100％t1|。 基于GaN晶体的蓝光LED的发明使LED的大规模应用成为可能，而GaN的外研技术 的发展又将可能变为现实【2一钉。单晶蓝宝石是GaN外延生长中最主要的衬底材料【孓。71，目 前蓝宝石基片面临着巨大的供应缺口。 除此之外，蓝宝石在国民生产的其他一些领域也都有广泛的应用。在国防领域，单 晶蓝宝石是机载、星载、高强激光、高速飞行器、潜艇望远镜等观察窗口的理想材料 01， 不仅在紫外波段、可见光和中波红外波段都有高的透光率，并且强度高、熔点高、耐热 冲击、耐振动、耐粒子侵蚀，满足了轻量化和恶劣环境下的使用要求。在其他民用方面， 蓝宝石还可用于制作医用手术刀具、精密仪表壳体、精密轴承和钟表、手机等电子产品 面板窗口等。图1．1给出了蓝宝石的一些应用需求。 一 鞫心1蕊：、≮塑萨 图1．1单晶蓝宝石的应用 Fig．1．1 The application of single sapphire c拶stal 市场的巨大需求促进了蓝宝石加