磁控溅射制备CrMoAlN梯度薄膜的抗高温氧化性能-中国有色金属学报.PDFVIP

第 27 卷第 7 期 中国有色金属学报 2017 年 7 月 Volume 27 Number 7 The Chinese Journal of Nonferrous Metals July 2017 DOI ：10.19476/j.ysxb.1004.0609.2017.07.11 磁控溅射制备CrMoAlN 梯度薄膜的 抗高温氧化性能 王宇星，楼白杨，潘 健，张 侠 (浙江工业大学 材料科学与工程学院，杭州 310032) 摘 要：采用非平衡磁控溅射离子镀技术在 M2 工具钢和单晶 Si 表面沉积 CrMoAlN 梯度薄膜，并在静态空气中 进行 600、700、800、900 ℃的高温氧化实验。采用 XRD 、SEM、XPS 、纳米压痕和划痕实验等研究，结果表明： CrMoAlN 薄膜呈现与 CrN 相似的面心立方结构，主要以 CrN、AlN 和 γ-Mo2N 形态存在。经 800 ℃氧化 2 h 后， CrMoAlN 薄膜基本保持常温时的晶体结构与力学性能。随着氧化温度继续升高，薄膜表层的 MoO3 加速挥发，破 坏由 Cr O 和 Al O 组成的致密氧化层，薄膜表面出现细小孔隙，薄膜氧化程度加剧。经 900 ℃氧化 2 h 后， 2 3 2 3 CrMoAlN 薄膜的力学性能和膜/基结合强度均出现明显下降。 关键词：CrMoAlN 梯度薄膜；磁控溅射；微观结构；高温氧化 文章编号：1004-0609(2017)-07-1403-08 中图分类号：TG174 文献标志码：A 磁控溅射沉积的 CrN 薄膜因具有较高的硬度、耐 温氧化行为的影响机理。 腐蚀和耐磨损性能，广泛地应用于加工制造业、汽车 工业、生物医疗等领域[1−2] 。近些年，随着现代加工技 1 实验 术的进步，对刀具和模具表面性能提出了更高的要求， 原有单一的二元CrN 薄膜已经无法满足不同工况环境 下的使用要求。研究人员一方面通过优化薄膜结构， 采用英国 Teer 公司生产的 UDP650/4 型闭合场非 实现 CrN 薄膜向纳米多层化和梯度化发展[3−5] ；同时 平衡磁控溅射仪制备 CrMoAlN 梯度薄膜。选用的靶 采用合金化的方法，在 CrN 薄膜基础上添加Y[6]、Zr[7]、 材为：纯度(99.99%)的 Cr 靶材 2 个，纯度(99.99%) 的 Si[8] 、Ti[9] 、Al[10] 、C[11] 、Mo[12]等元素来进一步提高 Al 和 Mo 靶材各 1 个。基体材料选用 d 30 mm ×2 mm CrN 薄膜的硬度、耐高温和耐磨损性能。CrN 薄膜中 的M2 工具钢和单晶Si 片，M2 基体用砂纸打磨至2000 由于Al 的加入，可以将 CrN 薄膜的抗高温氧化温度 号，并用金刚石抛光液抛光至Ra ≤0.5 μm ，然后依次 提高约 200 ℃[13] ，而Mo 的氮化物由于在摩擦过程中 用丙酮和无水乙醇超声波清洗 15 min，用吹风机吹干 能形成具有自润滑性能的氧化物[14−15]，在 CrN 薄膜中 后放入真空腔可旋转基架上，真空腔的真空度抽至 −4 + 添加 Mo 能显著提高薄膜的摩擦磨损性能。研究表 5 ×10 Pa ，镀膜前在−450 V 的偏压下用Ar 清洗试样 明[16−17]：将 Mo 和 Al 同时掺杂入 CrN 薄膜制备的四 表面 30 min，清除试样表面的杂质和氧化物，确保涂 元 CrMoAlN 薄膜在室温下具有高的硬度和优越耐磨