数字光刻物镜设计与毛化微加工调q改进技术研究-电子科学与技术专业论文.docxVIP

分类号： 分类号： 学校代号：11845 UDC： 密级： 学 号：2111215029 广东工业大学硕士学位论文 (工学硕士) 数字光刻物镜设计与毛化微加工调Q改进 技术研究 郭华 指导教师姓名、职称： 周金运教授 学科(专业)或领域名称： 电王型堂皇堇查 万方数据 A A Dissertation Submitted to Guangdong University of Technology for the Degree of Master of Engineering Science 1渊㈣ Research on Design of Digital Lithography Projection Lens and Improve of Micro—machining Texturing Q—switch Master．Candidate：GUO Hua Supervisor：PrOf．ZHOU Jinyun May2015 School of PhysicsOpto—electronic Engineering Guangdong University of Technology Guangzhou，Guangdong，P．R．China，510006 万方数据 摘要摘要 摘要 摘要 随着高清手机、超级电脑、多功能电视的普及，印刷电路板(PCB)、薄膜晶体 管显示器(TFT-LCD)、氧化铟锡导电玻璃(ITO)的高精度光刻变得尤为关键，这使 得与之相匹配的数字无掩膜光刻系统的研究和开发就变得十分重要。另外，随着食 品包装产业、高档家电产业、高级汽车产业的兴盛，市场对于毛化过后表面性能优 良的冷轧金属板材需求量与日俱增，为了获得性能更加优良的各类冷轧薄板，轧辊 表面激光毛化系统的研究和升级改良成为目前企业亟需解决的问题。本文配合导师 的国家自然基金项目和企业合作项目做了两方面的内容：前半部分从光刻的基础理 论出发，分析了基于数字微反射镜器件(DMD)的无掩膜光刻系统的几个问题，设 计了一套高分辨率的数字光刻用镜头；本文后半部分分析了传统声光调Q型YAG 激光毛化系统的缺陷和不足，从双增益介质腔的稳定性出发，提出了新型机械调Q 方法。 针对当今市场上光刻线宽在3p．m的高精度电路板和显示器的要求，通过采用 0．7XGA型DMD芯片作为空间光调制器(SLM)，设计了一套分辨率达到29m的数字 光刻投影物镜。通过利用光学设计软件ZEMAX对其进行建模、优化和质量评价， 结果有效的减少了DMD栅格效应对空间数字掩模图形的影响，同时能够满足数字 投影光刻系统的各项光学指标。本物镜从经典结构出发，提出采用一种新的非对称 式结构，使用较少的透镜组成了一个具有较高分辨力、较大孔径的数字投影光刻镜 头。本物镜系统在配合不同型号的DMD的基础上可以满足29m以上的高精度数字 光刻系统的各项要求，为高质量空间图像转移提供了一种高效可行的途径。 针对如今企业对于固态脉冲YAG激光毛化轧辊高效率、高均匀性、高粗糙度、 高无序性的要求，提出了光路变换加机械斩波调O的新型脉冲激光毛化系统。由于 传统声光调Q器件的自身特性决定了其高增益工作时衍射能力有限；脉冲能量低； 脉宽窄，激光脉冲峰值过高；使得声光调Q激光毛化在高效率、高粗糙度领域的冷 轧带钢生产上遇到了困难。这样的背景下提出：首先在双增益介质腔正中间用透镜 对腔内光束整形，再通过斩波盘斩波的调Q方法。这种机械斩波调Q方法可以工作 在激光腔的高增益状态；提高了脉冲能量；加大了脉宽，降低了脉冲峰值；使得这 万方数据 广东工业大学硕士学位论文种新型激光毛化系统的工作效率高、粗糙度范围广。 广东工业大学硕士学位论文 种新型激光毛化系统的工作效率高、粗糙度范围广。 关键词：数字光刻；非对称设计；投影物镜；激光毛化；机械调Q Il 万方数据 AbstractAb Abstract Ab stract With the popularization of high—definition mobile phone、super—computer and multi—function television，the high accuracy lithography become more and more important in Printed circuit board、Thin film transistor liquid crystal display and Indium till oxide glass。and that make the research and design mask—less digital lithography system become much more impor