平面微型超级电容器的石墨烯电极材料制备-物理学专业论文.pdf.docxVIP

哈尔滨理T人学理学颂I：学位论义平面微型超级电容器的石墨烯电极材料制备 哈尔滨理T人学理学颂I：学位论义 平面微型超级电容器的石墨烯电极材料制备 摘 要 平面微型超级电容器是一种具有体积小、储能密度高、充放电速度快、循 环寿命长、使用安全等特点的新型储能器件，通常被用于微型电子器件的能源 提供。平面微型超级电容器的性能主要取决于电极材料的性能。石墨烯作为一 种新型的纳米材料，由于其具备独特的物理性能和化学性能，使其成为最重要 的超级电容器电极材料。 通过分析平面微型超级电容器离子传输机制，设计了小尺寸指宽和空隙的 平面微型超级电容器构型，并以此为单体设计了串并联复合构型的平面微型超 级电容器掩膜版。将制备好的石墨烯电极经过光刻、磁控溅射、超声波清洗剥 离及等离子体刻蚀一系列工艺流程处理后，在其表面滴涂凝胶，完成了平面微 型超级电容器的制备。 为了探究铜箔预处理对于石墨烯生长的影响，我们对铜箔预处理前后的光 学照片进行了分析。然后，通过拉曼光谱及原子力显微镜等表征结果分析得出 了低压条件下，石墨烯在不同生长时间和甲烷浓度条件下的生长规律。结果发 现：当生长时间为30min时，甲烷浓度为35sccm时，石墨烯电极是单层石墨 烯；但当甲烷浓度高于35sccm时，石墨烯电极生长为多层石墨烯；在生长时 间达到60min时，生成多层石墨烯，电导性较好，但是表面存在缺陷。综合以 上结论，我们得出了石墨烯电极的最佳工艺参数：生长温度1000℃，甲烷流量 35sccm，氢气流量lOsccm，生长时间60rain。通过测试，所得石墨烯具有较高 的透光率(92．7％．95．2％)和较高的电导性(60．28．155．72D．／sq)。 关键词平面微型超级电容器；石墨烯；化学气相沉积法；光刻技术；电导性 万方数据 哈尔滨理T人学理学颁1j学位论义Preparation 哈尔滨理T人学理学颁1j学位论义 Preparation of Graphene Electrode Materials of Planar Micro—Supercapacitor Abstract Planar micro-supercapacitor is a kind of new energy storage which has a tiny volume，fast charge-discharge speed，large cycle life and safe using condition．It is usually used for the energy supply of micro electronic devices．The performance of planar micro-supercapacitor mainly depends on the property of the electrode．Due to unique physical and chemical property，as a kind of new nanomaterial，graphene has become the most important electrode material of supercapacitor． Through analyzing the ion transportation mechanism of planar micro- supercapacitor,the configurations of planar micro—supercapacitor with the gap width and finger width in small size are designed．The masks of planar micro-supercapacitor of series configuration and parallel configuration in different size are manufactured．The prepared graphene electrodes are dealed、^，itll through photoetching，magnetron sputtering，ultrasonic cleaning and plasma etching．After that，the surface of the graphene electrode is coated、Ⅳitll gel electrolyte． In order to explore the effect of the pretreatment of Cu foil on the growth of graphene，The optica