飞秒激光诱导金属银纳米布线加工精度的研究.PDFVIP

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2019-02-04 发布于天津
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飞秒激光诱导金属银纳米布线加工精度的研究

第卷第期中国激光 , ４４　１ Vol．４４ No．１　　　年月 , ２０１７１ Januar ２０１７ CHINESEJOURNALOFLASERS y 飞秒激光诱导金属银纳米布线加工精度的研究 , , 柳森王欢张永来　　　　 , 吉林大学电子科学与工程学院吉林长春１３００１２ , . 摘要对飞秒激光诱导银纳米布线的加工精度进行研究并将其应用于微纳器件的加工领域对飞秒激光与银离　 , 、、子前驱体溶液的相互作用进行了实验通过对飞秒激光功率曝光时间前驱体溶液中表面活性剂种类以及浓度的 , , . 调控利用扫描电子显微镜对布线结构进行表征得到１４０nm宽的银纳米线利用飞秒激光制备出一组银微纳图 . . 案和微型催化反应器该研究为银微纳结构图案制备以及复杂衬底上金属功能器件集成提供了新的技术 ; ; ; ; 关键词激光制造激光加工银纳米布线飞秒激光图案化　中图分类号　TN２４９　　　　　　文献标识码　A　　　 : / doi１０．３７８８CJL２０１７４４．０１０２００７ Processin PrecisionofFemtosecondLaserInducedSilverNanowirin g g LiuSen 　Wan Huan 　Zhan Yonlai g g g Colleeo ElectronicScienceandEnineerin JilinUniversit Chanchun Jilin１３００１２ China g f g g y g Abstract　 Wecarriedoutaresearchonthe recisionoffemtosecondlaserinducedsilvernanowirin andits p g a licationinmicroＧdeviceinteration敭The recisionofthesil