基于Legendre正交矩的亚像素线宽测量方法-清华大学学报.PDF

( ) / 清华大学学报 自然科学版 年 第 卷 第 期 ISSN１０００Ｇ００５４ ２０１６ ５６ ２ １６１７ / 　 ( ), , , CN１１Ｇ２２２３N 　JTsinhuaUniv SciTechnol ２０１６ Vol．５６ No．２ ２１８Ｇ２２２ g 基于Leendre正交矩的亚像素线宽测量方法 g , , , 王伯雄 杨春毓 李 伟 秦 垚 　 　 　 　 　 ( , , ) 清华大学 精密仪器与机械学系 精密测试技术及仪器国家重点实验室 北京 １０００８４ : . 摘 要 线宽测量对弱小目标检测有重要意义 该文提出 . , 　 法进行高精度的几何尺寸测量 其中 线宽是图像 . 了一种基于Leendre正交矩的亚像素线宽检测方法 该方 g , 重要的几何尺寸 线宽检测技术对弱小目标检测有 , 、 、 法将一般线宽分解为两个对称线宽之和 通过推导０ ２ ４ , ( , 重要的意义 在印制电路板 printedcircuitboard , , 阶Leendre正交矩 得到对称线宽的计算公式 最后加和 g [] [] PCB)缺陷检测 １ 、药液杂质检测 ２ 、带钢宽度测 . , 得到实际线宽 针对离散数字图像 推导并给出了正交矩 [] ３ 量 等领域中有着广泛的应用. , . 的模板系数 并分析了离散带来的测量误差及其修正方法 传统的线宽检测方法多是通过分别检测两条边 , 采用该测量方法对安瓿内标准颗粒异物进行粒径测量 实 . , 验结果表明该方法具有较高的测量精度和效率.