压电加速度传感器选型指南.pdfVIP

YD 列压电式加速度传感器 工程振动量值的物理参数常用位移、速度和加速度来表示。由于在通常的频 率范围内振动位移幅值量很小，且位移、速度和加速度之间都可互相转换，所以 在实际使用中振动量的大小一般用加速度的值来度量。常用单位为：米/秒 2 2 (m/s ) ，或重力加速度(g) 。 描述振动信号的另一重要参数是信号的频率。绝大多数的工程振动信号均可 分解成一系列特定频率和幅值的正弦信号，因此，对某一振动信号的测量，实际 上是对组成该振动信号的正弦频率分量的测量。对传感器主要性能指标的考核也 是根据传感器在其规定的频率范围内测量幅值精度的高低来评定。 最常用的振动测量传感器按各自的 作原理可分为压电式、压阻式、电容式、 电感式以及光电式。压电式加速度传感器因为具有测量频率范围宽、量程大、体 积小、重量轻、对被测件的影响小以及安装使用方便，所以成为最常用的振动测 量传感器。 压电式- 原理和特点 压电式传感器是利用弹簧质量系统原理。敏感芯体质量受振动加速度作用后 产生一个与加速度成正比的力，压电材料受此力作用后沿其表面形成与这一力成 正比的电荷信号。压电式加速度传感器具有动态范围大、频率范围宽、坚固耐用、 受外界干扰小以及压电材料受力自产生电荷信号不需要任何外界电源等特点，是 被最为广泛使用的振动测量传感器。虽然压电式加速度传感器的结构简单，商业 化使用历史也很长，但因其性能指标与材料特性、设计和加 艺密切相关，因 此在市场上销售的同类传感器性能的实际参数以及其稳定性和一致性差别非常 大。与压阻和电容式相比，其最大的缺点是压电式加速度传感器不能测量零频率 的信号。 压电材料 压电材料一般可以分为两大类，即压电晶体和压电陶瓷。在压电型加速度计 中最常用的压电晶体为石英，其特点为 作温度范围宽，性能稳定，因此在实际 应用中经常被用作标准传感器的压电材料。由于石英的压电系数比其他压电材料 低得多，因此对通用型压电加速度计而言更为常用的压电材料为压电陶瓷。压电 陶瓷中锆钛酸铅（PZT ）是目前压电加速度计中最经常使用的压电材料。其特点 为具有较高的压电系数和居里点，各项机电参数随温度时间等外界条件的变化相 对较小。必须 出的是，就同一品种的压电陶瓷而言，虽然都有相同的基本特性， 但由于制作 艺不同可以使两个相同材料的压电陶瓷的具体性能指标相差甚大。 传感器敏感芯体的结构形式 压电加速度传感器的敏感芯体一般由压电材料和附加质量块组成，当质量块 受到加速度作用后便转换成一个与加速度成正比并加载到压电材料上的力，而压 电材料受力后在其表面产生一个与加速度成正比的电荷信号。压电材料的特性决 定了作用力可以是受正应力也可以是剪应力，压电材料产生的电荷大小随作用力 的方向以及电荷引出表面的位置而变。根据压电材料不同的受力方法，常用传感 器敏感芯体的结构一般有以下三种形式： １）压缩形式 压电材料受到压缩或拉伸力而产生电荷的结构形式。压缩式 敏感芯体是加速度传感器中最为传统的结构形式。其特点是制造简单方便，能产 生较高的自振谐振频率和较宽的频率测量范围。而最大的缺点是不能有效地排除 各种干扰对测量信号的影响。 ２）剪切形式 通过对压电材料施加剪切力而产生电荷的结构形式。从理论 上分析在剪切力作用下压电材料产生的电荷信号受外界干扰的影响甚小，因此剪 切结构形式成为最为广泛使用的加速度传感器敏感芯体。然而在实际制造过程 中，确保剪切敏感芯体的加速度计持有较高和稳定的频率测量范围却是传感器制 造中 艺中最为困难的一个环节。 ）弯曲变形梁形式- 压电材料受到弯曲变形而产生电荷的结构形式。弯曲 变形梁结构可产生比较大的电荷输出信号，也较容易实现控制阻尼；但因为其测 量频率范围低，更由于此结构不能排除因温度变化而极容易产生的信号漂移，所 以此结构在压电型加速度计的设计中很少被采用。 电荷输出型 传统的压电加速度计通过内部敏感芯体输出一个与加速度成正比的电荷信 号。实际使用中传感器输出的高阻抗电荷信号必须通过二次仪表将其转换成低阻 抗电压信号才能读取。由于高阻抗电荷信号非常容易受到干扰，所以传感器到二 次仪表之间的信号传输必须使用低噪声屏蔽电缆。由于电子器件的使用温度范围 有限，所以高温环境下的测量一般还是使用电荷输出型。 低阻抗电压输出型（IEPE） IEPE 型压电加速度计即通常所称的ICP