多孔硅制备工艺及其在硅太阳能电池上的应用材料工程专业论文.docxVIP

⑧论文作者签名 ⑧ 论文作者签名：指导教师签名：—刖丑烨氢j王 论文评阅人1： 奎重副塾拯逝适太堂 评阅人2： 崔灿 副教授浙江理工大学 评阅人3： 隆垒证阎厶 评阅人4： 评阅人5： 答辩委员会主席： 基匾蓥 熬援 逝江太堂 委员l： 星焦 婴塞旦 逝江太堂 委员2： 奎置 副数援逝江太堂 委员3： 渣麴蕉副麴援逝婆太堂 委员4： 崔丞塑副塑丝逝江太堂 委员5： 万方数据 ㈣螋 ㈣螋 Fabrication of the nanostructured silicon and its Author’S signature： Zk虮泓i Supervisor’S signature： External Reviewers：Lei Li Associate Professor ZJU Can Cui Associate Professor ZSTU Anonymous Reviewer Examining Committee Chairperson： 垃垫g垫坠 里!Q鱼墨墨Q! 垫曼讧垫g!也iy笪曼韭Y Examining Committee Members： 翌堕业Q 里!Q鱼§墨堕 垫自i垫g选＆璺地!Y Yuani ing Cui Associate Professor Zhei iang University—． 坠i互 △!墨Q堡i垦堡￡垫鱼苎墨Q!至鱼自i堑g!堕垃星堡丝Y Date oforal defenee： 2015．3．13 万方数据 浙江大学研究生学位论文独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的 浙江大学研究生学位论文独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的 研究成果。除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发 表或撰写过的研究成果，也不包含为获得堂姿态堂或其他教育机构的学位或 证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文 中作了明确的说明并表示谢意。 学位论文作者签名： 斌柱 签字日期： 动侈年夕月一日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解逝望盘堂有权保留并向国家有关部门或机 构送交本论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权逝婆盘堂 可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索和传播，可以采用影 印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。 (保密的学位论文在解密后适用本授权书) 学位论文作者签名： 武巧主 翩猕J 1陟咱二 签字日期： 2；oB年多月 77日 签字日期：三hf舜3月立2日 万方数据 摘要全球化的能源危机和环境危机日益成为人类可持续发展的障碍。太阳能作为 摘要 全球化的能源危机和环境危机日益成为人类可持续发展的障碍。太阳能作为 一种取之不尽的清洁可再生能源，越来越受到人们的重视，特别是太阳能发电， 已成为重要的能源供给方式和新兴技术密集型产业。晶体硅太阳电池因其性能稳 定，成本较低而成为光伏市场主流，但是光伏的进一步推广应用依赖于电池效率 的提高和成本的降低，这也是目前太阳电池的主要研究方向。 为了降低成本，电池片薄片化是目前晶体硅太阳电池的发展趋势，但是电池 片变薄要求硅片具备更好的光吸收性能。硅片表面的陷光结构需要更好的设计以 降低可见光光反射率。本文采用银纳米颗粒催化腐蚀的方法，在电池片表面制备 多孔减反射结构，并采用碱刻蚀工艺对多孔硅结构进行修正，最后制备成多孔陷 光太阳电池，取得了以下主要创新成果： (1)考察了银纳米颗粒尺寸、腐蚀时间等条件对硅片多孔硅结构和表面光 反射率的影响。研究发现在室温下多孔硅制备的反应时间在3-6 II】i13．为最合适的 工艺区间，所获多孔结构陷光效果较好。随着反应时间的增加，表面平均光反射 率呈现出先降低后增加的趋势。 (2)多孔硅结构起到了较好的减反射效果，但表面积的增加会导致少数光 生载流子在硅片表面的复合，需要对表面进行钝化处理。本文采用氢氧化钠溶液 刻蚀修正多孔硅结构的方法，考察了碱浓度和刻蚀时间对表面少子寿命的影响， 获得最佳的工艺参数。同时我们提出了增加超薄Si02膜钝化硅片表面的方法， 具体包括热氧化和臭氧水钝化。通过优化工艺参数，获得了全面积电池原型器件 (156 cm×156 cm)，其光电转换效率达18．35％。 (3)11型晶硅太阳电池具有比P型更高的转换效率，但多孔硅结构应用于n 型太阳能电池更具优势，只是常规n型电池工艺复杂，成本较高。本文中提出了 一种新的11型多孔硅太阳电池结构，即n+np多孔硅太阳电池。该结构既有较好 的减反射效果，又有效解决了多孔硅制备带来的金属杂质和表面复合等问题，此 外其制备工艺与现有的P型太阳电池生产工艺完全兼容，适合大规模生产。最终 我们得