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　第6章　电容式传感器 ?????? 电容式传感器 概述 ??????? 电容式传感器 概述 ??????? 电容式传感器 概述 6.1电容式传感器的工作原理和结构 电容式传感器——将被测非电量的变化转换为电容量变化。 平板电容器的电容 根据被测参数的变化分： 变极距型电容传感器(d) 变面积型电容传感器(A) 变介质型电容传感器(ε) 6.1.2变极距型电容传感器 6.1.2变极距型电容传感器—基本特性 6.1.2变极距型电容传感器—基本特性 6.1.2变极距型电容传感器—灵敏度/非线性 1.灵敏度（变极距型） 2.非线性 6.1.3变面积型电容传感器 6.1.3变面积型电容传感器　 6.1.3变面积型电容传感器 变面积型电容传感器的优点是:输出与输入成线性关系,但与变极距型相比,灵敏度低,适用于较大角位移量及直线位移的测量。 6.1.4变介质型电容式传感器 柱式 6.1.4变介质型电容式传感器 平板式 电容传感器的等效电路 6.2电容式传感器的测量电路 电容传感器的特点：电容量小、变化更小（PF级）。理论上,交流电桥可作为电容传感器的测量电路,但由于电容及变化太小,不易实现。 常采用： 1.调频电路 2.运算放大器式电路 3.脉冲宽度调制电路 4、电桥电路 6.2.1调频电路 6.2.2运算放大器式电路 6.2.3脉冲宽度调制电路 C1充电,VF 。当VF Uc时,Q=0,信号反转,Q=1。C1经D1放电。 C2充电,VG 。当VG Uc时,Q=0，Q=1,再次反转。C2经D2放电。 6.2.3脉冲宽度调制电路 6.2.3脉冲宽度调制电路 6.2.3脉冲宽度调制电路 小结 小结 6.3电容式传感器的应用 电容式传感器的优点： (1)输入能量小而灵敏度高。 (2)精度高达0.01%。 (3)动态特型好，适合测量动态参数。 (4)能量损耗小。 (5)结构简单，环境适应性好(高温、辐射等) 缺点：电缆分布电容影响大。 集成电路、双屏蔽传输电缆等——降低分布电容影响。 广泛用于位移、压力、流量、液位等测量。 电容式传感器的应用举例 1.电容式料位计 6.3电容式传感器的应用（1） 电容式压力传感器 电容式传感器的应用举例 电容式压力传感器 电容式传感器的应用举例 电容式压力传感器 ??? 电容式传感器 电容式传感器的应用举例 ．电容式压力传感器 6.3电容式传感器的应用（2） 加速度传感器 差动式电容测厚传感器 6.3电容式传感器的应用（3） 差动式电容测厚传感器 6.3电容式传感器的应用（4） 6.3电容式传感器的应用（4） 6.3电容式传感器的应用（5） 齿轮转动时,电容量发生周期性变化,通过测量电路转换为脉冲信号,则频率计显示的频率计显示代表转速。设齿数为z,频率为f,则转速为 6.3电容式传感器的应用（6） 6.3电容式传感器的应用（7） 本 章 结 束 补充实例 图4.1(a)所示为检测汽车发动机吸气管负压的传感器。由于压力膜盒发生位移，用差动变压器取出比例于这个位移的电压。测量这个电压，使求得负压。图(b)是另一种传感器示例。由于植物生长使挂在线(靠滑轮改变方向)另一端的法码下降。这个位移量作为差动变压器的输出电压。 补充实例 差动变压器时将机械位移转换为电压的装置。 机械位移……交流电压 除厚度、伸长、松弛、角度等外，还有压力、荷重、转距、流量等工业量都可容易地变换成位移，进而用差动变压器变换成电压。成为直流后，就也可以利用电位差式自动平衡仪了。 补充实例 图6.2(a)所示是用差动变压器替代应变片的重量传感器，无重量时输出电压V为0，但有重量时平衡梁的左边向下倾斜，铁芯向上方位移．出现电压V。要使这种传感器能进行精确的测定，也需要和图6.1的传感器相同的条件1)~3)。 补充实例 图(b)所示的是一种叫做电子秤的、精度很好的重量传感器。平衡梁的右边，除差动变压器的铁芯外，还连接有线圈C。线圈被置于磁铁M的磁场中。若线圈上有电流，则电流和磁场间有电磁力(和线圈电流成正比)的作用，因而线圈被向下拉。电路A的任务是供应线圈电流I，起特殊作用，即在差动变压器有输出电压V期间，逐渐增加电流I，而当电压V变为零的时刻停止I的增加。有重量时失去平衡，出现电压V。因此，有电流I，平衡梁右侧被向下拉。结果，确定了能使平衡梁处于力平衡状态的电流。而这个电流I产生电压。图(a)所示为偏位法测量方法，需要测定E和V，而图(b)所示是零点法测量方法，与E无关，只要精密地测定电压便可求得重量。又因为是力平衡状态下的测定，所以在机械弹簧中有非线性特性，对测定也无影响。 变极距型 变面积型 脉冲宽度调制电路 差分式输出电压 用于水泥、化工、罐装 等传感器静电容： 电容测深度、角度 17 结构： 测量膜片（金