掺杂对zro2信息功能薄膜的影响及其性质研究光学专业论文.docxVIP

摘 摘 要 的 流 量 来 实 现 的 。 利 用 X 射 线 光 电 子 谱 (X P S ) 表 征 了 不 同 氧 化 程 度 的 Zr O 、薄 膜 ，用 X 射 线 衍 射 (X R D ) 来 表 征 不 同 氧 化 程 度 的 Zr o x 薄 膜 的 结 构 。通 过 椭 圆 偏 振 光 谱 仪 研 究 了 不 同 氧 化 程 度 的 Zr O 、薄 膜 的 光 学 性 质 。 研 究 了 Al / 不 同 氧 化 程 度 的 Zr o x/AI 的 信 息 功 能 薄 膜 的 I一V 特 征 参 数 ，研 究 发 现 氧 化 越 充 分 的 Zr o x 信 息 功 能 薄 膜 器 件 越 能 提 供 稳 定 的 开 关 效 应 以 及 更 好 的 耐 久 性 ， 这 是 由 于 A I 的 金 属 活 泼 性 比 Z r 强 使 得 Al 与 Zr O 、接 触 后 在 两 者 界 面 上 形 成 一 层 AI O 、过 渡 层 ， 当 由器 件 从 低 阻 态 转 变 为 高 阻 态 (R eset) 过 程 中 ， 由 电 流 密 度 急 剧 升 高 所 产 生 的 较 大 焦 耳 热 的 促 使 下 ，具 有 较 多 氧 空 位 的 氧 化 不 充 分 的 样 品 比具 有 较 少 氧 空 位 的 氧 化 充 分 样 品 更 难 俘 获 与 氧 空 位 数 目相 对 应 的 AI O 、过 渡 层 中 的 氧 离 子 ， 使 之 成 功 转 换 成 高 阻 态 。 关 键 词 : 硅 掺 杂 ; 退 火 ; 光 学 常 数 ; 信 息 功 能 薄 膜 ; 不 同氧 化 程 度 ; 开 关 效 应 A b A b s tl，a e t A b s t r a C t T h is th e s is in e lu d e s th e f o llo w in g tw o a s P e e ts : ( l ) T h e 5 1一Z rO Z e o m P o s ite film s w e re P re P a re d b y u s in g th e m e g n e tro n e o 一sP u tte rin g s y ste m . D if fe re n t e o m P o stio n 5 1一Z rO Z s a m P le s w e re d e P o s ite d b y eo n tro llin g th e an g le o f 5 1 targ et o n P 一ty P e 5 1(10 0 ) su b strate s at ro o m te m P e ra tu re . T h e o P tie a l P ro P e r tie s o f a s 一d e P o s ite d a n d a f te r一a n n e a lin g s a m P le s w e re m e a s u re d b y a sP e e tro s e o P ie e lliP s o m e tr y . T h e in f lu e n e e o f 5 1 e o n e e n tra tio n a n d a n e a llin g u P o n th e o P tie a l e o n sta n ts sP e e tr u m w a s P re se n te d . T h e re s ista n e e sw ite h in g e h a ra e te ristie s o f 5 1一d o P e d film s w e re in v e stig a te d fo r n o n v o la tile m e m o r y . W ith s lig h tly 5 1一d o P e d ，th e A I/5 1一Z rO Z/ A 1 d e v ic e P re s e n ts re lia b le re P ro d u c ib le s w ite h in g b e h a v io rs . W ith th e 5 1 e o n e e n tra tio n o f eo m P o site film s in ereasin g ，th e set v o ltag e (h ig h resisten ee state sw i