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GaN横向外延中晶面倾斜的形成机制ViewTableofContentshttp

GGaaNN横横向向外外延延中中晶晶面面倾倾斜斜的的形形成成机机制制 冯淦, 郑新和, 朱建军, 沈晓明, 张 顺, 赵德刚, 孙元平, 张泽洪, 王玉田, 杨辉 and 梁骏吾 Citation: 中国科学A辑: 数学 3322, 737 (2002); doi: 10.1360/za2002-32-8-737 View online: /doi/10.1360/za2002-32-8-737 View Table of Contents: /publisher/scp/j ournal/Sci Sin Math A2/32/8 Published by the 《中国科学》杂志社 AArrttiicclleess yyoouu mmaayy bbee iinntteerreesstteedd iinn 高温层的横向生长对异质外延GaN 结构性质的影响 Science in China Series E-Technological Sciences (in Chinese) 3399, 124 (2009); 薄膜外延生长及其岛核形成的计算机模拟 Science in China Series G-Physics, Mechanics Astronomy (in Chinese)33 44, 131 (2004); 倾斜多针状电极所形成电场的边界元数值计算方法 Science in China Series G-Physics, Mechanics Astronomy (in Chinese)33 99, 69 (2009); 立方相GaN外延层的表面起伏和高密度孪晶与六角相 Science in China Series A-Mathematics (in Chinese)3 311, 562 (2001); 纵、横、斜——倾斜与振荡法多路归并排序 Science in China Series E-Technological Sciences (in Chinese) 2266, 549 (1996); ( A ) 32 8 SCIENCE IN CHINA ( Series A ) 2002 8 GaN * ** ( , , 100083) X (DC-XRD)(0001) GaN . GaN SiN . x SiN , XRD GaN(0002)ω x . , , , SiN , , x . GaN : GaN ; GaN 90o . GaN X , GaN , GaN [1, 2]. , GaN (Al O , 16; Si,

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