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氮化铝纳米线的合成与生长机理研究物理电子学专业论文
摘 要论
摘 要
论 文 题 目: 氮 化 铝 纳 米 线 的 合 成 与 生 长 机 理 研 究
学 科 专 业 : 物 理 电子 学
研 究 生 : 谷 力 签 名 :
指 导 教 师 : 吕惠 民 副 教 授 签 名 :
摘 要
氮 化 铝 (A IN ) 作 为 一 种 重 要 的111 族 氮 化 物 ,是 一 种 直 接 带 隙半 导 体 材 料 ,其 禁 带 宽 度 为 6 .2e V ,在 蓝 、绿 光 和 紫 外 光 高 频 段 的光 电子 器 件 领 域 有 着 极 大 的应 用 潜 力 ,受 到 了 人 们 极 大 的关 注 。其 极 高 的热 导 率 (犯 ow ,m 一,·K’ ,) 大 约 是 A1 2o 3 的 10 倍 ,非 常 适 合 于 作 为 大 功 率 器 件 、集 成 电路 的 散 热 材 料 ; 其 低 的 热 膨 胀 系 数 (4 .3 x lo一6℃ ) ,可 以很 好 的 与 硅 匹配 ,可 以广 泛 应 用 于 半 导 体 器 件 的衬 底 材 料 ; 其 高 的 机 械 强 度 、很 高 的熔 点 ,可 以作 为 复 合 材 料 的添 加 剂 和 增 强 剂 ; 其 极 高 的 电阻率 ,可 以作 为 高 温 和 大 功 率 电子 器 件 的封 装 材 料 。
一 维 A IN 纳 米 材 料 与 A IN 纳 米 颗 粒 相 比 , 具 有 很 大 的 纵 横 比 、更 完 美 的 晶体 结 构 和 独 特 的纳 米 效 应 ,使 其 在 复 合 材 料 和 纳 米 器 件 中可 以获 得 广 泛 应 用 。 目前 一 维 A IN 纳 米
材 料 的制 备 方 法 有 很 多 ,但 是 这 些 方 法 有 的需 要 昂贵 的 设 备 ,有 的制 备 条 件 苛刻 (如 高温 ), 成 本 很 高 ,这 限制 了它 的研 究 和 应 用 。因此 ,简 单 、低 成 本 和 高 质 量 的制 备 方 法 仍 是 研 究 的 焦 点 。
本 文 以无 水 氯 化 铝 (A IC1 3) 和 叠 氮 化 纳 (N aN 3) 为 原 料 ,采 用 复 分 解 反 应 法 在 耐 高 压 反 应 釜 中 的 硅 (Si ) 衬 底 上 生 长 出 了 A IN 纳 米 线 。 加 热 温 度 为 45 0 ℃ , 反 应 时 间 为 24 小 时 。高 分 辨 透 射 电子 显 微 (H R T E M ) 测 试 结 果 显 示 ,分 散 开 的 A IN 纳 米 线 呈 现 长 直 型 外 貌 ,表 面 光 滑 ,无 分 枝 ,粗 细 均 匀 ,直 径 在 70 纳 米 左 右 , 长 度 达 到 微 米 量 级 。未 分 散 开 的 纳 米 线 排 列 有 序 ,生 长 方 向 一 致 ,并 且 与 衬 底 几 乎 垂 直 。选 择 区 域 电子 衍 射 (:s A E D ) 和 X 射 线 衍 射 (X R D ) 测 试 结 果 显 示 A IN 纳 米 线 为 单 晶 , 具 有 六 方 对 称 性 的 纤 锌 矿 型 结 构 , 且 生 长 方 向 为 【0 0 01 〕方 向 。
对 此 合 成 方 法 的 化 学 反 应 过 程 进 行 了分 析 , 确 认 了 AI N 纳 米 线 的 生 长 机 理 为 气 相 生 长 机 理 。利 用 晶 体 生 长 理 论 对 A IN 纳 米 线 的 生 长 机 理 进 行 了 定 性 分 析 ,A IN 纳 米 线 生 长 的 前 期 为 气 液 固 生 长 机 理 , 后 期 为 螺 旋 位 错 生 长 机 理 。
关 键 词 : 六 方 氮 化 铝 ; 纳 米 线 ; 复 分 解 反 应 ; 气 相 生 长 机 理
西安 理
西安 理 工大学硕 士 学位论 文
T itl6 : S Y N T H E S IS A N D G R O W T H M E C H A N !S M O F A L N N A N O W 】R E S
M aj o r: P h y s ie a l E le c tro n ic s
N a m G : L i G U 5 ig n a t u re :.
S u P e rv is o r : A s s o c ia te P ro f. H u im in LV 5 ig n a tu re :
A b s tra C t
A s o n e of th e ha P ort ant gr o uP 一111 n
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