非平衡磁控溅射方法替代电沉积技术的应用工艺研究与设计流体机械及工程专业论文.docxVIP

非平衡磁控溅射方法替代电沉积技术的应用工艺研究与设计 非平衡磁控溅射方法替代电沉积技术的应用工艺研究与设计 摘 要 为提高机械零部件表面耐磨、耐蚀等性能，延长零部件的使用寿命并满足 特殊环境使用要求，需在机械零部件表面通过特定的方法涂覆具有特殊性能的 涂层。同时，伴随着产业升级要求和环保压力的加大，利用先进技术手段，对某些 环境污染严重、能耗高的表面处理方法进行升级或替代研究具有重要的现实意义、经 济价值和社会效益。近年来发展起来的非平衡磁控溅射技术，被认为是较有前途的 表面涂层制备方法，本研究针对采用非平衡磁控溅射技术对电沉积硬铬方法进行替 代的工艺研究和设计，具体包括如下三个方面： (1)文献资料收集、分析及工艺现场调研： 通过对资料及工艺的分析、调研，了解表面涂层制备技术发展现状及各方 法优缺点，重点分析了非平衡磁控溅射技术制备硬质涂层与电沉积硬铬技术的 原理与工艺特点。通过比较，电沉积硬铬技术具有环境污染严重、能耗高及涂层 性能有缺陷等不足，因此，采用新技术替代电镀硬铬在机械零部件中的应用势在 必行。 (2)工艺实验和分析： 为了验证非平衡磁控溅射技术替代电沉积硬铬的工艺可行性并为设备设计 提供依据，本研究在充分掌握非平衡磁控溅射技术原理的基础上，针对液压杆 件的特殊使用要求，在不同的沉积工艺下分别制备Cr、CrN涂层。通过对涂层 的性能分析，验证了方法的可行性，并确定了可用的非平衡磁控溅射工艺参数。 (3)非平衡磁控溅射设备相关设计与计算： 依据工艺实验及分析结果获得的相关技术参数，作者基于非平衡磁控溅射 技术设计一套用于液压杆件小批量生产的溅射装置(UBM450-I)。作为重点，对 真空室、真空系统、工件架、磁控溅射靶、控制系统等进行了相应的设计分析 和计算。 关键词：非平衡磁控溅射 表面涂层 液压杆件 设备设计 电沉积硬铬 磁场优化 Replacement Replacement of Electro--deposition by Unbalanced Magnetron Sputtering Method：Experimental Research and Engineering Design ABSTRACT To improve the surface properties like weal：resistance and anti-corrosion,弱well as to extend service time and to fulfill extreme environmental requirement,mechanical parts and components call be intentionally deposited by coatings with special properties．Moreover, 丽tll increasing demanding of industry upgrading and environment protection,it is practical， economical and social—beneficial to conduct replacement or updating research on those surface treatment methods with serious pollution and intensive energy consumption．In recent years，UBMS has been well-developed and considered to be promising in coating preparation．Based on this technology,the replacement research and engineering design will be the theme for this thesis，which includes three aspects： 1．Literature collection,analysis and process on-site investigation According to literature and 011-site investigation，surface treatment methods were evaluated、^，itll more emphasis on UBMS and ED．Because the disadvantages of heavy environmental pollution,intensive energy consumption and coating def