doe在工艺优化和射频电路优化设计中的应用微电子学与固体电子学专业论文.docxVIP

Abs仃actAbstract Abs仃act Abstract In this paper,the statistical characterization of thin—film coating equipment is completed by the DOE technology,and the optimization of the process conditions is achieved．In the circuit design，circuit element models are established for a typical RF oscillator circuit．The circuit Can be adjusted and optimized by these circuit element models．In this paper,the major works are as follows： For the”thin—film coating“process，statistical models of the process equipment are established by central composite design through 20 tests．And the actual verification of the validity of the models has been done．The models not only make the coating film thickness satisfy the requirements but also increase the uniformity of the film． The links and differences of circuit element models and process equipmerit statistical models are analyzed．The circuit dement model for the oscillation frequency is constructed．The model can be used to adjust the oscillation frequency within a certain range． The concept and significance of Tolerance Analysis is introduced．The of yields for different tolerance conditions are analyzed．And new circuit element models for the target of yield are established．These models can be used to find the maximum yield， and the optimization of the circuit design is also achieved． Key words：DOE Thin-ffim coating Staffstical characterization Circuit element model Response Surface Methodology 西安电子科技大学学位论文独创性(或创新性)声明 西安电子科技大学 学位论文独创性(或创新性)声明 秉承学校严谨的学分和优良的科学道德，本人声明所呈交的论文是我个人在导师 指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知，除了文中特另l；hN以标注和致谢 中所罗列的内容以外，论文中不包含其他入已经发表或撰写过的研究成果；也不包含 为获得西安电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工 作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中做了明确的说明并表示了谢意。 申请学位论文与资料若有不实之处，本人承担一切的法律责任。 』．上 本人签名：耋兰翌聱幺 日期垒旦必2：2多 西安电子科技大学 关于论文使用授权的说明 本人完全了解西安电子科技大学有关保留和使用学位论文的规定，即：研究生在 校攻读学位期间论文工作的知识产权单位属西安电子科技大学。学校有权保留送交论 文的复印件，允许查阅和借阅论文；学校可以公布论文的全部或部分内容，可以允许 采用影印、缩印或其它复制手段保存论文。同时本人保证，毕业后结合学位论文研究 课题再攥写的文章一律署名单位为西安电子科技大学。 (保密的论文在解密后遵守此规定) 本学位论文属于保密，在一年解密后适用本授权书。 导师签名： 豢盟。二 日期竺生：』：竺 本人签名： 日期