大企业介质阻挡放电聚合沉积氟碳有机纳米晶的研究等离子体物理专业论文.docxVIP

东华大学学矗论文原创性圭媳y删,t删St㈣b,537本人郑重声明：我恪守学术道德，崇尚严谨学风。所呈交的学位 东华大学学矗论文原创性圭媳y删,t删St㈣b,537 本人郑重声明：我恪守学术道德，崇尚严谨学风。所呈交的学位 论文，是本人在导师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果。除 文中已明确注明和引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体 已经发表或撰写过的作品及成果的内容。论文为本人亲自撰写，我对 所写的内容负责，并完全意识到本声明的法律结果由本人承担。 学位论文作者签名： 钐殇 日期：纱∽吝年 1只t 0日 事 东华大学学位论文版权使用授权书学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，同 东华大学学位论文版权使用授权书 学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，同 意学校保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允 许论文被查阅或借阅。本人授权东华大学可以将本学位论文的全部或 部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复 制手段保存和汇编本学位论文。 保密口，在三年解密后适用本版权书。 本学位论文属于 不保密口。 学位论文作者签名：乃黟冶 指导教师签名： 劣噜 日期：莎晰，月，乡日 日期：7啦f月f卢日 也 东华大学硕士论文大气压介质阻挡放电聚合沉积氟碳有机纳米晶的研究 东华大学硕士论文 大气压介质阻挡放电聚合沉积氟碳有机纳米晶的研究 摘要 等离子体具有利用电子、原子、离子、激发态分子等进行纳米结 构组装或刻蚀的特点，在纳米技术一兴起就起着重要作用。它是晶态 纳米结构成型的一种方便、有效、低成本的方法，可通过气固或气一 液一固过程成型加工，是获得Si、Ru、Bi2S3、SiC、GaAs、GeTe等 无机纳米晶材料的常用方法，而利用此方法沉积有机纳米晶却少有报 旭。 本文设计了一种特殊结构的圆筒状介质阻挡放电装置，用于氟碳 化合物纳米晶的聚合沉积。用此法，可在大气压下快速获得各种尺度 的氟碳聚合物纳米晶，并提供了一种聚合物纳米晶结晶成型的新途 径。 首先，为更好地调控氟碳等离子体聚合的放电参数，对该反应装 置的放电特性进行了测量和模拟研究。通过观察电流．电压放电曲线 发现其在常压下为丝状放电，等离子体发射光谱仪测量了氩气放电气 氛中的电子激发温度在O．24～0．32eV范围，采用电荷．电压法测定电路 中的视在功率为O．28～1．13kW。采用等离子体的粒子模拟方法(Particle In Cell)，利用XOOPIC软件对大气压下同轴圆筒状介质阻挡放电 (DBD．Dielectric Barrier Discharge)特性进行了模拟研究，再现了微 放电通道的形成和发展过程，模拟结果表明微放电的寿命约为4ns， 摘要 摘要 东华大学硕士论文 获得了电子、离子、介质表面电荷密度和电场强度随空间和时间的分 布，发现在高压电极附近电子、离子和介质表面电荷密度存在极值， 与典型平板介质阻挡放电相比，微放电中的电子密度、场强高出2-3 个数量级，这有利于氟碳纳米晶的快速聚合结晶成型。 其次，利用扫描电镜(SEM)观察了不同条件下聚合物颗粒的物 理形貌和尺寸分布，结果表明，玻片上沉积聚合膜含平均尺寸大约为 100nm、长度在l~2．5 la m的纳米棒。把气相中的颗粒直接引入极性 溶剂无水乙醇中，由于无水乙醇降低了颗粒的比表面能，获得的纳米 颗粒具有很好的单分散性，其平均粒径约为150rim。 最后，对氟碳聚合物沉积膜的化学成分和结构分析表明，除了含 有大量的氟碳成分外还掺入了氧和氢，聚合物中的氟碳比随着功率增 加呈减小的趋势。傅立叶红外光谱(FTIR)显示该聚合物具有聚四氟 乙烯薄膜的特征峰，透射电镜(TEM)、高分辨透射电镜(}玎玎EM)、 选区电子衍射(SAED)与X射线电子衍射(XRD)的结果分析表明， 所获得的有机纳米颗粒为六角晶系的多晶结构，薄膜所含的纳米棒属 于立方晶系的单晶结构。 本文研究的大气压下介质阻挡放电等离子体聚合获得有机氟碳 纳米晶的方法简单、迅速、成本低，可用于各种尺度的聚合物纳米晶 的研制，为有机纳米晶粒通过自组装获得新功能材料提供了前提条 件，并拓宽了一维单晶有机聚合物纳米材料研制的途径。 关键词：大气压介质阻挡放电，等离子体聚合，放电特性，氟碳纳米 晶 东华大学硕士论文PL久SMA 东华大学硕士论文 PL久SMA POIYMEIiJZATION