HEPS-TF二维气浮花岗石闭环位移台公开招标公告-高能物理研究所.PDFVIP

中国科学院高能物理研究所 HEPS-TF 二维气浮花岗石闭环位移台公开招标公告 一、采购人：中国科学院高能物理研究所 二、采购项目名称：HEPS-TF 二维气浮花岗石闭环位移台 三、招标编号：HEPSTF-B4-020703-17-0041 四、资金来源：财政性资金，已落实，采购预算80 万元。 五、项目工期：4 个月内完成出厂验收 六、招标产品内容： （一）项目名称：HEPS-TF 二维气浮花岗石闭环位移台 （二）数量：1 套 （三）采购预算：80 万。投标报价超过此投标限价按无效投标处理。 （四）项目简介： 1、项目简介： 高能同步辐射光源（HEPS）是我国“十三五”期间计划建设的具有世界最高光谱 亮度的高性能高能同步辐射光源。中国科学院高能物理研究所正进行高能同步辐射光 源验证装置（High Energy Photon Source Test Facility，HEPS-TF ）预制研究和工程验证。 本项目是对高能光源HEPS-TF 项目中HEPS-TF 面形检测系统中二维气浮花岗石闭环位 移台的设计和制造进行的国内公开招标。 本项目中的二维气浮花岗石闭环位移台是一种龙门结构的二维扫描设备。系统整 体架构如图1 所示，系统整体尺寸约为2.5m （长）*1.1m （宽）*1.85m （高），主体材 质为优质花岗岩，包括X 轴、Y 轴为两维运动轴。其中，X 轴为下面样品平台，Y 轴为 光学头的扫描平台。X 轴运动行程 300mm ，移动平台采用气浮块与直线电机的组合方 式，通过直线电机的驱动达到平台X 向的前后移动，移动距离采用光栅尺测量输出。Y 轴运动行程1300mm，移动平台采用气浮块、磁铁与直线电机的组合方式。Y 滑块又可 细分为Y1 和Y2 滑块两大部分，Y 1 滑块用于安装辅助性机械件，定位精度要求低。Y2 滑块用于安装光学设备。Y2 滑块包括主滑块与驱动滑块，主滑块与驱动滑块之间采用 柔性连接。主滑块侧面用于安装光学设备，尺寸大于500mm （高）*550mm （宽）并布 有标准M6 孔位。为了提高主滑块的运动精度和速度，例如姿态运动误差小于15 μrad （这也是本项目的关键技术指标和技术难点），主滑块与驱动滑块均安装四对石墨烯气 浮轴承，两个滑块上安装有磁铁用以提供预压力，增加滑块气浮刚度与稳定性；滑块移 动距离采用光栅尺测量输出。 图1：二维气浮花岗石闭环位移台示意图 本项目招标人向中标人提供二维气浮花岗石闭环位移台的设计原理说明和技术要 求，投标人进行工艺设计和制造，招标范围包括该系统的工艺设计、原材料等部件的 采购、加工制造、出厂测试、包装、运输、保险、安装调试、配合验收及提供售后服务 等。交货周期为：在合同签订后4 个月内完成 HEPS-TF 二维气浮花岗石闭环位移台的 加工制造和通过出厂验收，并运往甲方指定地点（北京市石景山区玉泉路19 号乙中科 院高能物理研究所）完成最终验收。 主要技术要求如下： 1）可实现稳定的二维气浮运动功能。 2 ）可实现运动控制功能，能够实时读取运动状态参数。在错误的状态下，系统 硬件自身具有错误预警或者自动解除运动功能。 3 ）有硬限位和软限位，需要设计防掀结构。 4 ）Y2 滑块由主滑块和驱动滑块构成，二者通过柔性链接。 5 ）由监测面板，读取系统供气状态，如气压、流量、温度等参数。 6 ）一定的负载能力，X 轴负载≥200Kg ，Y 轴负载≥30Kg 。 7 ）运动三维角度误差（包括投角、偏摆角和滚转角），X 轴≤7.5 μrad，Y 轴≤15 μrad。 8 ）运动绝对定位精度（校正后）好于2 μm。 9 ）运动直线度，X 轴好于2.5 μm，Y 轴好于5 μm。 10）运动行程，X 轴大于300mm，Y 轴大于1300mm； 11）材质，花岗岩材料具有明显花纹，除抛光研磨外，无其他表面处理。 12 ）光栅尺标准件分辨率好于10nm，需单独列出品牌型号。 13 ）直线电机投标时，需单独列出品牌型号。 14 ）系统需要配有机柜和工控机（Core I7 处理器，16G 内存，显存2G，固态硬 盘256G ）。 15 ）气量消耗小于30 升/分钟，供气气压：小于0.6MPa 。 16）Y 轴稳