单波长椭偏法测试分析薄膜的厚度与折射率学习目标建议学时2学时.PDFVIP

实验3 单波长椭偏法测试分析薄膜的厚度与折射率 学习目标 1. 掌握单波长椭偏法的基本原理。 2. 学会使用单波长椭偏仪测硅衬底上透明膜厚度、折射率的方法。 建议学时：2 学时 原理 1.偏振光 偏振是各种矢量波共有的一种性质。对各种矢量波来说，偏振是指用一个常矢量来描述 空间某一个固定点所观测到的矢量波（电场、应变、自旋）随时间变化的特性。光波是一种 电磁波，电磁场中的电矢量就是光波的振动矢量，其振动方向与传播方向相垂直。电矢量在 与光传播方向垂直的平面内按一定的规律呈现非对称的择优振动取向，这种偏于某一方向电 场振动较强的现象，被称为光偏振。 正对着光的传播方向观察，电矢量的方向不随时间变 化。大小随着相位有规律地变化的光为线偏振光或者称为平面偏振光，它在与光的传播方向 相垂直的平面上，其轨迹为一条直线；若电矢量的大小始终不变，方向随时间规则变化，其 端点轨迹为圆形，则为圆偏振光；若电矢量的大小和方向都随时间规则变化，其端点轨迹呈 椭圆形，则为椭圆偏振光。如果光呈现出各方向振幅相等，且不在某一方向择优振动，这种 光就是自然光；将自然光与线偏振光混合时，呈现沿某一方向电场振幅较大，而与其正交的 方向电场振幅较弱但不为零的特性，这种光就是部分偏振光。 用于产生线偏振光的元件叫 起偏器。用于检验和分析光的偏振状态的元件叫检偏器。虽然两者的名称不同，但起偏器和 检偏器大都具有相同的物理结构和光学特性，在使用中可互换，仅根据其在光学系统中所扮 演的角色而被赋予了不同的名称。 2.反射式椭圆偏振光谱测量的基本原理 （1） 偏振光学系统 在椭偏仪中，偏振光束是通过一系列能产生特定偏振状态的光学元件来进行传播的。椭 偏仪就属于这样一类光学系统，其中光的偏振表示了经过此系统内的光学元件处理过的光波 的基本性质，这类光学系统称为偏振系统，偏振光学系统由起偏器、延迟器和旋光器组成。 虽然按照光学系统所能处理的光波的基本性质来划分光学系统的方法是十分吸引人的，但是， 对于同时能使光波的一种以上性质发生显著变化的光学系统来说，一般的描述办法就有些困 难了。 （2）椭偏仪装置的测量理论和分析 利用椭偏测量的原理和方法，能够得到偏振态发生变化的“某光学系统”的有关信息。 作为探针的偏振光波能够有控制地与待测光学系统发生相互作用，从而改变光波的偏振态。 测量偏振的初态和终态，或反复测量适当数目的不同初态（例如利用系统的琼斯或米勒矩阵）， 就能确定所研究的系统对偏振光的变换规律。系统内光与物质的相互作用通过光的电磁学理 论描述。通用椭偏仪的工作概况如图2-6所示。来自光源L的准直单色光或准单色光，经起偏 器P产生已知的偏振态可控的光束。这束光与待测光学系统（S）相互作用，使光束偏振态产 生相应变化。与探测器D相连的可调检偏器A负责检测系统输出端的偏振态的变化。 图4为普 通椭偏仪的系统框图，系统主要子系统分别为光源、可调起偏器、待测光学系统、可调检偏 器和光电探测器。 如果光波与光学系统间的相互作用为线性且频率不变的，那么光学系统 可 图2-6 普通椭偏仪的基本布局 通过一种或数种过程与担当探针角色的光波偏振态发生变化： (1)反射或折射：光波在两个不同的光学媒质界面上发生反射或折射时，偏振态发生突 变。入射面相平行和垂直的两种线偏振光分别菲涅耳反射或透射系数不同。 (2)透射：光束通过一各向异性媒质（折射率、吸收率或两者，均存在各向异性）时， 偏振态发生连续变化。 (3)散射：光波穿过因存在散射中心而其折射率具有空间不均匀性的媒质时，便发生散 射。 反射和透射不会大大影响原光束的准直性，但散射则伴随着散射能量在较大的立体角范 围内重新分布。 根据改变光波的偏振态的作用方式，可将椭偏测量方法分为三类：反射或 表面椭偏测量法，透射椭偏测量法（偏振测量法）以及散射椭偏测量法。 尽管许多测量方 法的基本原理都相同，但上述分类之间有较大差异。光度椭偏测量法系利用探测光随偏振态 （方位角、相位延迟或入射角）变化的规律而建立。由光度椭偏仪得到的原始数据包括在预 定条件下取得的光强度（光流）信号。光度椭偏仪有静态光度椭偏仪和动态光度椭偏仪。静 态光度椭偏仪的待测信号（通常是直流信号，除非用斩光器切断光源光束）是在椭偏仪各元 件的预定位置处被记录下来。使用动态光度椭偏仪，则让参量中的一个或几个随时间作周期 变化，而后对待测信号作傅里叶分析。 （3）反射式光度型椭圆偏振光谱测量的基本原理