高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光研究.PDFVIP

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2019-03-30 发布于天津
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高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光研究.PDF

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31 2 人工晶体学报 Vol. 31 No. 2 2002 4 JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS April , 2002 LaAlO 3 1 1 2 2 张连翰 , 孙敦陆, 钱小波, 杭寅 ( 1. , 230031; 2. , 201800 : , ( AFM , LaAlO3 , ) : ; ; ; : O7 86 : A : 1000- 985X( 2002 02- 0121-03 Study on the Super- smooth Surface Polishing of the High Temperature Superconductor Film Substrate LaAlO Single Crystal 3 1 1 2 2 ZHANG L ian-han , S UN Dun-lu , QIAN X iao-bo , HANG Yin ( 1. Anhui Institute of Opt ics and Fine M echanics, Chinese Academy of Sciences, Hefei 230031, China ; 2. Shanghai Institute of Opt ics and Fine M echanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China ( Received 5 December 2001 Abstract In this paper, we studies the super- smooth surface polishing of the LaAlO3 crystal by means of the chemical- mechanics polishing method and the atomic force microscopy ( AFM tool. LaAlO3 crystal is a substrate material of high temperature superconductor . The process of the traditional opt ical surface transforms towards the super-smooth surface was observed , meantime, we also observed the result of super- smooth surface machining. It shows that the super- smooth surface polishing is very important to the surface of substrate as cryst