高垂直磁异向性之合金薄膜制作及磁性质研究.pdfVIP

行 異 金 精 類 行 年年 行 料 參理 理 理良 理林 理 論 理 利 年 年 高垂直磁異向性之合金薄膜製作及磁性質研究(Ⅱ) 中文摘要 本研究將 14 nm厚之 Co Pt磁性層在常溫沉積於 200 nm厚之 Pt 底層上方，初鍍 Co Pt(14 3 3 nm)/Pt(200 nm)雙層層膜經 300 °C退火後可獲得顆粒狀 hcp 結構之 Co Pt 奈米晶粒，其垂直 3 方向頑磁力(Hc⊥)及垂直方向角形比 (S⊥)分別高達 3800 Oe及 0.93 。由於氧原子擴散至Co Pt 3 磁性層之晶界可隔開 Co Pt 粒子並抑制晶粒成長，因此具降低 Co Pt磁性粒子間之磁交互作 3 3 用力及提升薄膜記錄密度之功效。此外，在 Co Pt(14 nm)/Pt(200 nm) 薄膜上方再鍍上85 nm 3 厚之 TbCo 薄膜後，其垂直方向頑磁力可提升至6560 Oe ，此薄膜具備應用在超高密度垂直 磁記錄媒體之潛力。 關鍵詞：顆粒狀 Co Pt 奈米晶粒、TbCo/Co Pt 薄膜、垂直方向頑磁力、垂直方向角形比、 3 3 垂直磁記錄媒體。 英文摘要 The granular hcp Co Pt nano-grains with high perpendicular coercivity (Hc⊥) of 3800 Oe and 3 high perpendicular squareness (S⊥) of 0.93 can be achieved by deposited Co Pt magnetic layer of 3 14 nm thick onto the Pt underlayer with thickness of 200 nm and then annealing at a low temperature of 300℃. It is found that the oxygen atoms would diffuse into Co Pt layer thro