课程（毕业）扫描隧道显微镜.doc

扫描隧道显微镜 一、背景介绍 扫描隧道显微镜scanning tunnel ing microscope缩写为STM。亦称为扫 描穿隧式显微镜”、“隧道扫描显微镜”，是一种利用量子理论中的隧道效应探 测物质表而结构的仪器。它于1981年由格尔德?宾宁(G. Binning)及海因里 希?罗雷尔(H?Rohrer)在IBM位于瑞士苏黎世的苏黎世实验室发明，两位发 明者因此与恩斯特?鲁斯卡分享了 1986年诺贝尔物理学奖。 拦捲琏進显微镜 二、基本结构 1、隧道针尖 隧道针尖的结构是扫描隧道显微技术要解决的主要问题之一。针尖的大 小、形状和化学同一性不仅影响着扫描隧道显微镜图象的分辨率和图象的形 状，而且也影响着测定的电子态。 针尖的宏观结构应使得针尖具有高的弯曲共振频率，从而可以减少相位 滞后，提高采集速度。如果针尖的尖端只有一个稳定的原子而不是有多重针 尖，那么隧道电流就会很稳定，而且能够获得原子级分辨的图象。针尖的化 学纯度高，就不会涉及系列势垒。例如，针尖表面若有氧化层，则其电阻可 能会高于隧道间隙的阻值，从而导致针尖和样品间产生隧道电流之前，二者 就发生碰撞。 制备针尖的材料主要有金属钩丝、钳-錶合金丝等。鹄针尖的制备常用 电化学腐蚀法。而钳-铁合金针尖则多用机械成型法，一般直接用剪刀剪切 而成。不论哪一种针尖，其表面往往覆盖着一层氧化层，或吸附一定的杂质, 这经常是造成隧道电流不稳、噪音大和扫描隧道显微镜图象的不可预期性的 原因。因此，每次实骑前，都要对针尖进行处理，一般用化学法清洗，去除 表面的氧化层及杂质，保证针尖具有良好的导电性。 2、三维扫描控制器 由于仪器中要控制针尖在样品表面进行高精度的扫描，用普通机械的控 制是很难达到这一要求的。目前普遍使用压电陶瓷材料作为x-y-z扫描控制 器件。 压电陶瓷利用了压电现象。所谓的压电现象是指某种类型的晶体在受到 机械力发生形变时会产生电场，或给晶体加一电场时晶体会产生物理形变的 现象。许多化合物的单晶，如石英等都具有压电性质，但目前广泛采用的是 多晶陶瓷材料，例如钛酸错酸铅［Pb （Ti,Zr）03］（简称PZT）和钛酸顿等。压电 陶瓷材料能以简单的方式将lmV-lOOOV的电压信号转换成十几分之一纳米到 儿微米的位移。 3、 减震系统 由于仪器工作吋针尖与样品的间距一般小于lnm,同吋隧道电流与隧道 间隙成指数关系，因此任何微小的震动都会对仪器的稳定性产生影响。必须 隔绝的两种类型的扰动是震动和冲击，其中震动隔绝是最主耍的。隔绝震动 主要从考虑外界震动的频率与仪器的固有频率入手。 4、 电子学控制系统 扫描隧道显微镜是一个纳米级的随动系统，因此，电子学控制系统也是 一个重要的部分。扫描隧道显微镜要用计算机控制步进电机的驱动，使探针 逼近样品，进入隧道区，而后要不断采集隧道电流，在恒电流模式中还要将 隧道电流与设定值相比较，再通过反馈系统控制探针的进与退，从而保持隧 道电流的稳定。所有这些功能，都是通过电子学控制系统来实现的。图1给 出了扫描隧道显微镜电子学控制控制系统的框图⑵。 5、 在线扫描控制系统 在扫描隧道显微镜的软件控制系统中，计算机软件所起的作用主要分为“在 线扫描控制”和“离线数据分析”两部分。 在线扫描控制 在扫描隧道显微镜实验中，计算机软件主要实现扫描时的一些基本参数 的设定、调节，以及获得、显示并记录扫描所得数据图象等。计算机软件将 通过计算机接口实现与电子设备间的协调共同工作。 当使用软件控制马达使针尖逼近样甜时，首先要确保电动马达控制器的 红色按钮处于弹起状态，否则探头部分只受电子学控制系统控制，计算机软 件对马达的控制不起作用。马达控制软件将控制电动马达以一个微小的步长 转动，使针尖缓慢靠近样品，直到进入隧道区为止。 离线数据分析软件 离线数据分析是指脱离扫描过程之后的针对保存下来的图彖数据的各种 分析与处理工作。常用的图象分析与处理功能有：平滑、滤波、傅立叶变换、 图象反转、数据统计、三维生成等。 三、工作原理 扫描矗道显微镜的工作原理简单得出乎意料。就如同一根唱针扫过一张 唱片，一根探针慢慢地通过要被分析的材料（针尖极为尖锐，仅仅由一个原 子组成）。一个小小的电荷被放置在探针上，一股电流从探针流岀，通过整 个材料，到底层表面。当探针通过单个的原子，流过探针的电流量便有所不 同，这些变化被记录下来。电流在流过一个原子的时候有涨有落，如此便极 其细致地探出它的轮廓。在许多的流通后，通过绘出电流量的波动，人们可 以得到组成一个网格结构的单个原子的美丽图片。 四、工作模式 1、 恒电流模式 利用一套电子反馈线路控制隧道电流I ,使其保持恒定。再通过计算机 系统控制针尖在样品表面扫描，即是使针尖沿X、y两个方向作二维运动。由 于要控制隧道电流I不变，