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微电子洁净厂房运行与管理 2007年2月 华 卫 群 微电子洁净厂房运行与管理 洁净厂 洁净厂 工程建 房相关 房管理及 设与高质 一般概 运行 量的安装 念 工程 微电子技术的重要性和发展趋势 • 目前、微电子工业的发展水平已成为衡量 一个国家的科学技术水平和经济发展实力 的重要标志！ • 自1958年世界上第一块集成电路问世以 来，特别是近20年来，几乎每隔2~3年就有 一代产品问世。 • 我国的微电子行业的发展，近年也投入了 大量的人力、物力、财力，先后建成多家 有实力的公司。 洁净厂房的一般概念常识 1 洁净室 2 洁净区 3 人身净化用室、物料净化用室 4 悬浮粒子、粒径 5 洁净度 6 单向流、非单向流 7 气闸室、传递箱 8 净化厂房的“三态” 洁净室CLEAN ROOM 空气悬浮粒子浓度受控的房间。 它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及 滞留的粒子。室内其他有关参数如温度、湿 度、压力等按要求进行控制。 洁净区Clean zone • 空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的 建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞 留粒子。室内其他有关参数如温度、湿 度、压力等按要求进行控制。 • 洁净区可以是开放式或封闭式。 人身净化、物料净化用室 • 人身净化用室—Room for cleaning human body • 洁净室工作人员在进入洁净区之前按一定 程序进行净化的房间。 • 物料净化用室—Room for cleaning material • 物料在进入洁净区之前按一定程序进行净 化的房间。 悬浮粒子、粒径 • 悬浮粒子—Airborne particals • 用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺 寸范围在０.1um~5um的固体和液体粒子。 • 粒径–Partical size 由给定的粒子尺寸测定仪响应当量于被测 粒子等效的球体半径。对离散粒子计数、 光散射仪，采用当量光学直径。 洁净度--Cleanliness • 按单位容积空气中某种粒子的数量来区分 的洁净程度。 单向流、非单向流 • 单向流Unidirectional flow • 沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速 一致的气流。 • 非单向流—non-nidirectional flow • 凡不符合单向流定义的气流。 气闸室、传递箱 • 气闸室—Air lock • 沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速 一致的气流。 • 传递箱—Pass box • 在洁净室隔墙上设置的传递另部件或小设 备的开口,两侧装有不能同时开启的门扇并 可设气闸。 洁净厂房“三态” • 空态：as built • 设施已建成，所有动力接通并运行，但无 生产设备、材料及人员。 • 静态：at rest • 设施已建成，生产设备已经安装，并按用 户及供应商同意的状态运行，但无人员。 • 动态：operational • 设施以规定的状态运行，有规定的人员在 场，并在商定的状态下进行工作。 洁净厂房管理与运行 • 随着我国电子工业的飞速发展、特别是微 电子工业以及产品的供过于求，各项产品 的竞争日趋激烈，打赢这场竞争的关键是 产品的质量和价格。生产环境的洁净度水 平是电子产品生产的前提条件，而厂房各 项设施的低成本运行则是产品价格的基