场发射真空传感器.PDFVIP

下载本文档

15
0
约8.6千字
约 5页
2019-02-09 发布于天津
举报
版权申诉

场发射真空传感器.PDF

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

场发射真空传感器

14 1 Vo.l14, No.1 2008 2 JOURNALOFFUNCTIONALMATERIALSANDDEVICES Feb., 200 8 :1007 -4252 (2008 )01-0241-05 文尉任, 王凌云, 孙道恒 (厦门大学机电工程系, 厦门 361005 ) :场发射真空传感器是采用 MEMS加工工艺制一种新型的基于硅尖阵列场发射原理的微型真空传感器。通过理论分析, 确立了该种传感器中硅尖场发射电流与真空度的关系。并利用干法刻蚀工艺, 在硅片上制作了高 3.2μm, 曲率半径小于 70 nm的 200 ×42 硅尖阵列。保持阳极与硅尖距离为 1μm的情况下, 可以观察到阳极电压为 10V左右时开始有明显的场发射电流。实验结果表明, 在 10V-15V的输入电压范围内, 通过测试场发射电流所得到的真空度值, 其最大误差不超过 10%。该真空传感器具有制作简单、易于集成、信号测量容易、自身不带密封腔等优点, 具有潜在的应用前景和市场潜力。 :硅尖阵列;场发射;真空传感器 :TP2 12　　:A Fieldemissionvcuum sensor WENWei-ren, WANGLing-yun, SUNDo-heng (DeprtmentofMechniclndElectriclEngineering, Ximen University, Ximen361005, Chin) Abstrc:tAmicrovcuumsensorbsedonfieldemissionofsilicontipsrryisbroughtforwrdfirstlyby integrtionoftheMEMStechnology.Thereltionbetweenemissioncurrentndpressurehsbeenintro- ducedbytheoreticlnlysi.s200 42 tipsrrywith3.2μmheightndbelow70 nmdimeterhsbeen fbrictedonthesiliconsubstrteusingdryetchingprocess.Keeping1μmdistncebetweenthesilicon tipsndnodeelectrod,e theemissioncurrentcnbeobserved t10V nodevoltge.Fromtestresult,s themicrovcuumsensorhs lowererrorwiththerngeof10-15V, whichlessthn10 percentcnbe chieved.Becusethismicrovcuum sensorischrcterizedofhighsensitivit,y esinessforintegrtion ndnoselingchmberinthesenso,rithsverypromisingpplictionsndpotentilm rke.t Keywords:silicontipsrr;yfieldemission;vcuumsensor :2007-07-20;　　:2007-09-22 :(No.5067 5184 );(No.2002H022 ); . :(1964-), , , , (E-m i:lsundh@xmu.edu.cn). 24 2 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　14 , -; 0　 1 [ 1]