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全自动在线六维纳米测量系统
第 卷第 期 光 学 技 术
39 1 Vol.39No.1
年 月暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋
2013 1 OPTICALTECHNIQUE Jan. 2013
文章编号: ( )
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全自动在线六维纳米测量系统*
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胡凯 侯文玫 句爱松 董洪波 杨召雷
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上海理工大学 光电信息与计算机工程学院 上海 200093
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摘 要 介绍了一种用于在线检测纳米定位平台的全自动六维纳米测量系统 提出了整波长干涉测量方法 可以
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避免激光干涉仪的非线性影响 使系统能够得到准确校准 达到纳米级精度 该测量系统可以测定 个自由度 三维直
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线运动测量范围为 100m暳100m暳100m 分辨率能够达到 1nm以下
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关 键 词 光学测量 纳米定位平台 整波长 激光干涉仪 非线性
中图分类号:TH741暋暋暋文献标识码:A
Automatic6灢dimensionalnano灢measurin instrument
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ShanhaiforScienceandTechnolo Shanhai200093 China
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AbstractAnautomatic6灢dimensionalnanomeasurin instrumentisbuiltfortheonlineinsectionofnano ositio
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