难导电硬脆资料喷雾电化学放电加工机理研究.pdfVIP

中国机械工程第24卷第9期2013年5月上半月 难导电硬脆材料喷雾电化学放电加工机理研究 于建元 刘志东 邱明波 王 琳 田宗军 南京航空航天大学，南京，210016 摘要：采用喷雾电化学放电加工方法对单晶硅、光学玻璃和氧化铝陶瓷三种难导电硬脆材料进行试 验研究，阐述了加工原理，构建了传热物理模型。通过分析加工放电波形和表面微观形貌，得出了难导 电硬脆材料的加工蚀除方式。研究表明，对于硅等半导体材料，主要依靠电化学腐蚀、电化学放电和化 学溶解进行综合蚀除；对于光学玻璃等易软化的绝缘材料，主要依靠电化学放电形成的局部高温进行软 化，并进行化学溶解蚀除；对于氧化铝陶瓷等高熔点绝缘材料，电化学放电通常只能产生软化层，再由机 械方法实现延性方式去除。 关键词：难导电材料；喷雾；电化学；放电；蚀除方式 中图分类号：TG661 DOI：10．3969／j．issn．1004—132X．2013．09．017 Researchon Mechanismof Machining Difficult--to—conductiveHardand BrittleMaterialswith Electrochemical Mist--jetting Discharge YU Liu Jianyuan Qiu LinTian ZhidongMingbo Wang ZongJun of NanImgUnlvermty kindsof Abstract：Threedifficult—to--conductivehardand brittlematerialssuchas crvstal single and ceramic silicon，opticalAlz wereresearchedwith glass 03 electrochemical mist—jetting discharge method，the was theheattransfer machiningprincipleexpounded，and modelwasconstrue— physical waveformsandsurface ted·Machiningdischarge microstructureswere to theerosion analyzedget methods O{difficult--to—conductivehardandbrittle materials．There