基于MEMS技术的SOI微加速度计的研究与设计-微电子学与固体电子学专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 独 创 性 声 明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作 及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方 外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为 获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与 我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的 说明并表示谢意。 签名： 日期： 年 月 日 关于论文使用授权的说明 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘， 允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全 部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 万方数据 万方数据 摘 要 摘 要 MEMS 技术是极具发展潜力的技术之一，是当前十分活跃的研究领域。MEMS 技术广泛应用于诸多领域，包括国防、汽车工业和生物医学等。微加速度计是 MEMS 技术应用的一个重要领域，MEMS 技术的最初成功和商业化的产品就是微 加速度计。目前微加速度计凭借其体积小、重量轻、功耗低和高灵敏度等优点已 成为惯性导航领域的关键部件。SOI 材料的出现更是让微加速度计的研究有了新的 方向和重点，SOI 微加速度计已经成为新的研究热点。 本文首先概述了MEMS技术的应用领域和国内外的最新动态，介绍了主要的 MEMS微机械加工技术。选择梳齿电容式结构的微加速度计作为主要研究对象， 在分析了其工作原理后，分别研究了在开环和闭环两种不同工作模式下微加速度 计的各项性能参数，并指出了微加速度计工作稳定所需要的内在条件。 然后用有限元软件ANSYS对梳齿电容式微加速度计建立模型并进行仿真计 算，包括静力学分析、模态分析和谐波响应分析。静力学分析得到了敏感质量块 的位移和各个方向的最大应力，结果验证了系统不会失效。模态分析得到了微加 速度计的固有频率并和谐波响应分析的结果保持一致，在不同弹簧结构参数下仿 真了微加速度计的谐振频率，得到了影响谐振频率的因素。接着对四种不同弹簧 结构的微加速度计分别进行了线性度分析，结果表明线性度良好；同时计算了折 叠式弹簧弹性系数的计算公式，并讨论了各结构参数对弹性系数的影响规律；最 终设计出了微加速度计的具体结构尺寸。 最后根据实验室条件，采用直接键合技术制备 SOI 材料，并给出了制备的工 艺流程。根据梳齿电容式微加速度计的结构特点，将敏感质量块和活动梳齿设计 成悬空的结构。结合顶层硅重掺杂技术和背面刻蚀技术，研究出 SOI 微加速度计 的制作工艺，并给出了具体的工艺步骤和流程。 关键词：MEMS，微加速度计，SOI，有限元分析 I ABSTRACT ABSTRACT MEMS technology is one of the most potential technical and it is a very active area of research. MEMS technology is widely used in many fields, including defense, automotive, and biomedical. Micro-accelerometer is an important application area of MEMS technology. The initial success of MEMS technology and commercialization of products is the micro-accelerometer.The advantages of the micro-accelerometer with its small size, light weight, low power consumption and high sensitivity has become a key component of the field of inertial navigation. The emergence of the SOI material let micro-accelerometer has a new direction and focus. SOI micro-accelerometer has become a research hotspot. This article outlined the applications of MEMS technology and the latest developments at home and a