半导体材料学分-浙江大学材料科学与工程学院.PDF

课程简介和教学大纲格式 课程代码 课程名称：半导体材料 学分： 2 周学时: 4 面向对象：本科生 预修课程要求：无 一、课程介绍（100-150 字） （一）中文简介 半导体材料是信息、能源和材料的交叉学科，支撑着微电子、光电子、太阳能光伏等高 科技产业。本课程讲述半导体材料的基本概念和原理，讲述硅材料、III-V 和II-VI 化合物半 导体材料（砷化镓等）以及其它新型半导体材料（如纳米半导体材料）的制备、性质和应用。 本课程适合固体物理、材料、电子和信息专业的硕士研究生和本科生。 （二）英文简介 Semiconductor materials are the basic materials of microelectronics, optoelctronics and photovoltaics industry. This course focuses on basic concepts and principles of semiconductor materials. The properties, fabrication and application of main semiconductor materials, such as silicon and GaAs, are introduced. In addition, the current development of new semiconductor materials including GaN, SiC, ZnO and so on are also discussed. 二、教学目标 (一)学习目标 半导体材料是信息、能源和材料的交叉学科，是上世纪50 年代开始快速发展的一个学 科，它支撑着微电子、光电子、太阳能光伏等高科技产业，对现代科技和工业有重要作用。 通过本课程的学习，让学生了解和掌握半导体材料的研究历史、基本概念和原理，了解和半 导体材料相关的晶体生长、缺陷控制等知识，通过对主要的半导体材料硅材料（多晶硅、单 晶硅及工艺）以及砷化镓、氮化镓、碳化硅、氧化锌等半导体材料知识介绍，让学生了解和 掌握元素半导体、化合物半导体材料以及正在研究开发的新型半导体材料的制备、性质和应 用，以培养同学的半导体材料以及在微电子、光电子和太阳能光伏的基本应用知识。 （二）可测量结果 1)了解半导体材料的研究历史、应用，掌握半导体材料的性能、分类、核心科学问 题， 2）了解半导体晶体材料生长的动力学、热力学理论，掌握半导体材料能带原理。 3）了解和掌握半导体材料制备的主要技术和工艺，能够指出不同半导体材料、不同技 1 术技术、不同性能的之间的关系。 4）能说明元素半导体硅材料基本性质、提纯制备工艺和流程，掌握高纯硅材料制备的 影响元素，并通过课外作业和课堂讨论，了解和掌握半导体锗材料的提纯制备工艺和性质。 5）掌握半导体硅晶体材料的不同制备工艺，重点了解直拉技术制备硅晶体的方法和加 工工艺。 6）了解和掌握不同半导体硅薄膜材料的制备技术和性质，指出其材料质量和制备的影 响元素。 7）了解和掌握多种化合物半导体材料（GaAS，GaN，SiC、ZnO 等）的制备和性质。 8) 通过课外作业和课堂讨论，了解和掌握纳米半导体材料的制备、性质和研究进展。 三、课程要求 （一）授课方式与要求 （1）教师讲授（讲授核心内容、答疑、公布讨论主题等）；(2) 课后作业（按照作业 查阅参考文献，准备powerpoint 文件）；（3）讨论课（由学生报告，学生提问，学生答疑、 教师引导）；（4 ）期末开卷考试 （二）考试评分与建议 考试成绩分三部分：（1）平时上课、提问、讨论，20％，（2）平时作业 20％，（3）期 末考试，开卷，60％。 四、教学安排 第一课 半导体材料的概论。主要讲述半导体材料的意义、 应用和研究历史，指出半导体 材料的电阻率特性、导电性特性和光典型特性，说明半导体材料主要分类和主要 半导体材料，指出半导体材料的杂质和缺陷是半导体材料研究的关键问题所在，