基于半导体制造业的生产设备产能跟踪系统-计算机技术专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 独 创 性 声 明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作 及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方 外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为 获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与 我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的 说明并表示谢意。 签名： 日期： 年 月 日 论 文 使 用 授 权 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘， 允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全 部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 万方数据 万方数据 摘 要 摘 要 半导体制造投资巨大，尤其是设备成本极其昂贵，因此，如何提高设备利用 率一直是企业关注的焦点。国际半导体设备与材料组织在其制度的 SEMI 标准中提 供了一种很好的计算设备效率的方法，称为设备整体效率。设备整体效率是一个 独立的测量工具，它用来表现实际的生产能力相对于理论产能的比率，它考虑了 设备所有的运行情况，计算方便准确，弥补了传统计算效率方法的不足，得到了 广泛的应用。但是从目前来看，获得设备整体效率中的某些参数不准确，且费时 费力，所以本文主要针对这个情况设计了一个生产设备产能跟踪系统来解决这个 问题。 本文所研究的生产设备产能跟踪系统的主要功能是为工业工程部门计算设备 整体效率提供重要参数，即设备每小时的理论产量。本文分析了工业工程部门在 估算产能方面的职能，半导体的行业背景，半导体技术及发展趋势，半导体制造 流程以及半导体相关的计算机集成制造系统。接下来，本文在分析生产设备产能 跟踪系统主要功能的基础上，重点研究的是生产设备产能跟踪系统的架构、主要 功能模块、采用的关键技术。最后，本文以具体设备为例分析了生产设备产能跟 踪系统是如何通过数据采集、数据分析、数据导入、数据计算这四个模块得出设 备的每小时理论产量，并说明其具体应用。 生产设备产能跟踪系统的应用，为计算设备整体效率提供了有效数据，为监 控全厂设备的使用情况提供了实时、全面的数据，并且大大减少了人为的数据收 集、数据分析的工作量。企业因此可以轻松的找到影响生产效率的瓶颈，将关注 点放于重点设备并进行改进和跟踪，达到提高生产效率的目的，同时使公司避免 不必要的耗费。 关键词：设备，整体设备效率，产能跟踪系统，生产效率 I ABSTRACT ABSTRACT The investment for semiconductor manufacturing is so much, especially for the equipments, so it is very important for a factory to utilize those equipments’ effectively. SEMI constitutes a very good method to calculate equipments’ utilization which name Overall Equipments’ Efficiency in their SEMI Standard.Overall Equipment Efficiency as a method that can calculate equipments’ efficiency correctly, takes all equipments into account, and applied extensively. Industry Engineering plays as a very important role in all the global corporations, especially for manufacturing. One of the responsibility for industry engineer is to establish and control capacity, and then monitor each department’s work and cost trend for whole factory. The major purpose about production tools’ performance tracing system is to provide some key data to calculate Overall Equipment Eff