电子能谱学01-XPS1课件.ppt

* 清华大学材料与表面组 * 光电子谱线的特点及表示 光电子谱线与原子结构有关 其特点是量子化的 标记可用激发跃迁的能级来标记 * 清华大学材料与表面组 * 表面灵敏度 XPS探测的是从固体表面层发射出来的，携带有大量表面信息（表面结构，元素组成，化学键及其表面电子结构等信息）的光电子； XPS携带信息的深度与多种因素有关；一般可以用电子的非弹性散射平均自由程来描述； 对于XPS，其探测深度为1-5nm； * 清华大学材料与表面组 * 非弹性散射平均自由程 定义： 对于固体材料，电子在固体内部迁移的过程中，可以和固体中的原子发生非弹性碰撞产生散射以及能量损失，直至能量损失为零，不能从表面逸出。这种电子直到能量完全损失所能迁移的最大距离，称为电子的非弹性散射平均自由程。 * 清华大学材料与表面组 * 非弹性散射平均自由程的关系 I：出射电子强度 I0：入射电子强度 X: 厚度 λ：非弹性散射平均自由程 * 清华大学材料与表面组 * 材料对平均自由程的影响 * 清华大学材料与表面组 * 平均自由程与原子序数的关系 * 清华大学材料与表面组 * 电子束和X射线的平均自由程 * 清华大学材料与表面组 * 平均自由程与入射电子能量的关系 * 清华大学材料与表面组 * XPS激发俄歇电子的平均自由程与原子序数的关系 * 清华大学材料与表面组 * 光电子强度与厚度及其平均自由程的关系 * 清华大学材料与表面组 * * 清华大学材料与表面组 * 取样深度与平均自由程的关系 α为原子直径，nm E为电子能量，eV λ为电子平均自由程，nm 经验公式 适用于元素 适用于无机物 金 属：0.5-2nm 无机物：1-3nm 有机物：3-10nm * 清华大学材料与表面组 * 关键概念 电子能谱的定义 电子能谱的种类 各种电子能谱方法的特点和差异 X射线光电子能谱 光电离的概念 光电子的概念 光和固体的作用形式 光电效应 电离系数 非弹性散射平均自由程 平均自由程的影响因素 * 清华大学材料与表面组 * 第一讲 END Thanks * 清华大学材料与表面组 * 结合能原理 光电子能谱的结合能原理 气态分子的结合能 固体物质的结合能 净电荷的计算 弛豫过程 * 清华大学材料与表面组 * 结合能的理想解释原子的轨道能级 * 清华大学材料与表面组 * 导电和非导电样品的能级图 导电样品与谱仪的导电性能好，两者的费米能级相同 非导体样品存在带间，带间隙的一般为费米能级，但大多数情况带间隙是不清晰的 * 清华大学材料与表面组 * 结合能的表述固体样品 在光电离过程中，固体物质的结合能可以用下面的方程表示： Ek = h? - Eb - ?s （18.1） 式中 Ek ? 出射的光电子的动能, eV; h? ? X射线源光子的能量, eV； Eb ? 特定原子轨道上的结合能, eV； ?s ? 谱仪的功函, eV。 谱仪的功函主要由谱仪材料和状态决定，对同一台谱仪基本是一个常数，与样品无关，其平均值为3～4eV。 * 清华大学材料与表面组 * XPS 结合能 在XPS分析中，由于采用的X射线激发源的能量较高，不仅可以激发出原子价轨道中的价电子，还可以激发出芯能级上的内层轨道电子，其出射光电子的能量仅与入射光子的能量及原子轨道结合能有关。 因此，对于特定的单色激发源和特定的原子轨道，其光电子的能量是特征的。 当固定激发源能量时，其光电子的能量仅与元素的种类和所电离激发的原子轨道有关。因此，我们可以根据光电子的结合能定性分析物质的元素种类。 * 清华大学材料与表面组 * 气体分子的结合能 结合能与芯能级的电离能的关系 Koopmass近似：认为在光电子激发过程，原子核是被冻结的。 分子弛豫能：由于电离过程对分子产生的微扰作用 电子相关效应：原子核中多电子的相互作用使电离能增加 Eb＝I－ER 结合能不能简单解释为电离能 * 清华大学材料与表面组 * 气体分子结合能与分子轨道的关系 * 清华大学材料与表面组 * 典型XPS谱图 * 清华大学材料与表面组 * BaSO4 的XPS * 清华大学材料与表面组 * BaSO4能级与谱图 * 清华大学材料与表面组 * 光电子过程与谱线的关系 * 清华大学材料与表面组 * 关键概念 电子能谱的定义 电子能谱的种类 各种电子能谱方法的特点和差异 X射线光电子能谱 光电离的概念 光电子的概念 光和固体的作用形式 光电效应 电离系数 结合能 光电子谱的表示 第一讲 END Thanks 清华大学材料与表面组 清华大学材料与表面组 电子能谱学 朱永法 清华大学化学系 电话电子邮件：zhuyf@tsinghua.edu.cn 清华大学理科楼D307 * 清华大学材料与表面