基于部件库的MEMS设计系统中虚拟组装技术的研究-控制理论与控制工程专业论文.docxVIP

摘 摘 要 微电子机械系统(MEMS)的计算机辅助设计对于MEMS的发展至关重 要。现有的MEMS辅助设计软件是在微电子电路设计软件的基础上，结合 MEMS的特点加以发展而成的，缺少对微机械运行性能的检测，我们借鉴Ic 设计中基于部库的设计重用思想，提出了具有部件库的MEMS集成设计环境 的体系结构。本论文的研究内容来源于国家863高科技计划“基于部件库的 MEMS设计环境原形系统研究与实现”和国家自然科学基金“基于虚拟现实 技术的具有部件库的设计环境研究”等项目，虚拟组装技术研究是其中的重 要部分。论文经过研究和查阅国内外大量文献，结合当前MEMS的发展实际 情况，借鉴Ic设计和机械设计的方法和成果，在MEMS虚拟组装过程、虚 拟组装模型、部件及部件库信息表达、虚拟部件设计、可组装性和可加工性 检测、器件动态模型建立等方面作了较为深入的研究。 本文在对现有MEMS设计过程和MEMS特点详细分析的基础上，借鉴 Ic设计和机械设计过程，结合基于部件库的设计重用思想，建立了一个虚拟 组装设计过程。采用自顶向下和自底向上相结合的设计方法，基于部件库成 功地实现MEMS器件的虚拟组装。 为了表达和描述虚拟组装设计过程中的组装单元信息、复杂的组装关系， 本文提出了增强关联图组装模型。该模型是在借鉴了机械设计中的关联图装 配模型基础上，结合MEMS的特点，对其进行了改进而成。它充分体现了 MEMS组装的层次性和组装设计过程的阶段性。本文还在此模型基础上提出 了关联图简化算法，完成了虚拟组装的顺序规划。 为了实现虚拟部件的设计，便于虚拟组装过程中的可加工性检测，本文 提出了层部件的概念和层部件的参数化特征造型方法，紧密结合MEMS的层 次性特点，为实现快速、可靠的部件设计提供了有效的解决手段。 本文还专门就虚拟组装中的可组装性和可加工性问题做了深入探讨，分 析了影响可加工性的诸多因素，提出了“化整为零”的可加工性检测策略。 该策略的主要思想是将可加工性检测的任务细化，穿插到虚拟组装的各个阶 段进行有针对性的可加工性检测。而层部件及其特征造型方法的提出，正是 为此策略的实施提供了一个可操作的解决方案。 MEMS的一个重要特性就是具有运动性能，我们把具有运动性能的部件 称之为运动部件，每个运动部件都具有反映其运动特性的动态模型。部件的 虚拟组装必然涉及到部件动态模型的组装问题。为此本文分析了虚拟组装过 程中，器件动态模型的建立方法，并实际推演了微泵的动态模型建立过程。 最后在理论研究的指导下，以微泵的虚拟组装为例，演示了虚拟组装设 计的全过程，验证了组装模型的有效性和可操作性。 关键词： MEMS 虚拟组装 层部件 部件 部件库 设计重用 ABSTRACTComputer-aided ABSTRACT Computer-aided design is much important for MEMS．MEMS CAD software nOW available iS almost developed on the foundation of IC design software， 1acking of examining the motion characterization of MEMS．Atier studying many years the simulation of motion of MEMS device，we put forward building a integrated design environment ofMEMS device，and have given a framework of it． The work in the paper iS sponsored by National 863 Hi曲Tech Program“Research of Virtual Environment for Micro-Mechanical’，and Natiional Natural Science Foundation of China Program‘Research of Virtual Environment for Micro—Mechanical”etc．the research of virtual assembly technology iS the important part among them．This thesis is written after consulting a large number of documents of home and abroad， combining the real circumstances of MEMS， and uses for reference I