基于共轭干涉滤波的光学气体传感方法的研究-信息与通信工程专业论文.docx

万方数据 万方数据 A Dissertation Submitted to Wuhan University of Technology for the Doctor’s Degree in Engineering Research on optical gas sensing method based on conjugate interference filter Ph. D. Candidate: GUI Xin Supervisor: Prof. JIANG Desheng Major: Information and Communication Engineering Wuhan University of Technology Wuhan, 430070, P.R.China May, 2015 独 创 性 声 明 本人声明，所呈交的论文是本人在导师指导下进行的研究工作及 取得的研究成果。尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外， 论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得 武汉理工大学或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一 同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说 明并表示了谢意。 签 名： 日 期： 学位论文使用授权书 本人完全了解武汉理工大学有关保留、使用学位论文的规定，即 学校有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版， 允许论文被查阅和借阅。本人授权武汉理工大学可以将本学位论文的 全部内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或其他复制 手段保存或汇编本学位论文。同时授权经武汉理工大学认可的国家有 关机构或论文数据库使用或收录本学位论文，并向社会公众提供信息 服务。 （保密的论文在解密后应遵守此规定） 研究生（签名）： 导师（签名）： 日期 摘要 光学气体检测在环境污染、工业过程控制、医疗诊断等领域应用较广。基 于光谱吸收的气体检测技术是通过检测样气透射光强的变化来实现气体浓度的 测量。与传统方式相比，该技术具有高精度、低交叉敏感、快速响应，易于成 网等优点。其中窄带光谱吸收技术采用低成本的宽带光源，且可以利用滤波器 选择不同的吸收峰实现不同气体的检测，具有非常好的工业应用潜质。 本文提出了基于共轭干涉滤波的光学气体传感方法，该方法是利用光谱吸 收和双光束干涉，实现了共轭干涉滤波器，该滤波器能通过对应吸收气体吸收 光谱的光，而反射其他波长的光，从而获得与气体吸收谱线反转的梳状光谱。 由于气体吸收谱线本质稳定的特性，滤波器将输出稳频的梳状光谱，并且通过 更换滤波器中气体种类能输出对应气体的输出光谱。该方法能有效的压缩宽带 光源的谱宽，大大提高气体检测灵敏度，且能解决气体检测中选择光源的问题。 首先，以分子光谱理论、比尔朗伯定律为基础，分析了气体吸收线的谱线(线 型、线宽、展宽)等理论，研究了基于光谱吸收的气体浓度检测技术。根据 HITRAN 数据库以及傅里叶红外光谱仪对气体吸收谱线的相关参数进行了确定。研究了 温度、压力等因素对谱线展宽以及吸收系数的影响，为选择滤波器的物理参数 提供了理论依据。 其次，研究了共轭干涉式滤波器π相移实现方法的研究。通过对共轭干涉 式滤波器结构的设计、比较以及讨论，确定其结构。并通过对输出光强的仿真、 实验比较对滤波器参数进行确定，从而最终能输出稳定的π相移滤波输出。 再次，研究了基于共轭干涉式滤波器的窄带稳定输出光源，包括线性腔单 波长、多波长窄带光源，以及基于光纤环形腔的单波长、多波长窄带输出光源。 该窄带光源的输出光能完全对应气体吸收峰的窄线宽以及中心波长，光强稳定， 能有效的应用在（多）气体浓度检测上。 最后，本文基于差分检测方案以及共轭干涉式滤波器的稳频输出光构建了 单一气体检测系统以及多气体检测系统。对系统中的窄带光源、吸收气室、数 据处理等关键器件以及关键技术进行分析。并设计了一种基于光纤空芯光子晶 体光纤的气室结构，给低损耗、长光程气室提供方向。与此同时还采用了气体 传感系统微弱信号的检测方法，能有效抑制噪声，实现输出信号的光谱重现， I 实验结果表明，气体检测的灵敏度和信噪比得到明显的提高。对单一气体和多 气体共存情况下作了气体检测的实验，验证了该基于共轭干涉式滤波器的光纤 气体传感系统，在多种气体混合环境下，可以完成对不同组分气体浓度的检测。 关键词：气体传感，光谱吸收，共轭干涉式滤波器，差分检测，多组分气体。 II Abstract Detection of gas is important in environmental, pollution monitoring and safety production.So it is of great importance to make r