基于光纤耦合的低电压驱动毛细管电泳芯片研究-物理电子学专业论文.docxVIP

大连理工大学硕士学位论文摘 大连理工大学硕士学位论文 摘 要 毛细管电泳芯片是近十几年出现的一种微量分析装置，它具有高效、快速、试样量 小等优点，已广泛应用于免疫测定、DNA分析和测序、氨基酸和蛋白质的分离、生物 细胞的研究等方面。但是，毛细管电泳芯片的进样和分离过程需要在高电压下完成，并 且采用的共聚焦式激光诱导荧光检测系统的光路结构复杂，体积庞大，这些问题极大地 制约了毛细管电泳芯片的微型化和集成化。因此，本文开展了基于光纤耦合的低电压驱 动毛细管电泳芯片研究。 本文将低电压驱动阵列电极与光纤微通道集成在一块芯片上，利用微电子工艺和 MEMS技术在玻璃基片上溅射铂电极，在玻璃盖片上刻蚀微流体沟道和光纤微通道，采 用热键合技术实现了芯片的封装。在低电压驱动部分，设计了以EPFl0K20TCl44-4芯 片为控制核心的循环电压控制电路，采用Vedlog HDL语言完成了硬件电路的软件编程， 实现了计算机与FPGA芯片的串口通信与循环电压控制。低电压驱动阵列电极芯片在进 样和分离时产生大量的气泡，严重阻碍了电泳分析的正常进行，本文重点针对这一问题 进行了消除气泡问题的研究。通过在电极表面制备水玻璃、聚酰亚胺、氮化硅等多种绝 缘薄膜，避免缓冲液与电极的接触，减少气泡的产生。经过大量的实验，探索出了具有 绝缘夹层的低电压驱动毛细管电泳芯片的封装工艺。 不同绝缘膜电泳芯片的测试结果表明氮化硅绝缘膜能比较有效地抑制气泡的产生， 在较低的电压下能实现电动进样和部分分离效果。利用具有光纤微通道的芯片对罗丹明 B样品进行荧光信号检测，均得到了较好的电泳谱图，证明了本文所设计的基于光纤耦 合的低电压驱动毛细管电泳芯片，利用激光诱导荧光检测技术能够完成样品的电泳分 析。 关键词：毛细管电泳芯片；阵列电极；低电压驱动；光纤耦合 基于光纤耦合的低电压驱动毛细管电泳芯片的研究Study 基于光纤耦合的低电压驱动毛细管电泳芯片的研究 Study on Low Voltage-Driven Capillary Electrophoresis Chip Based on Optical Fiber Coupled Abstract Capillary electrophoresis chip(CE chip)has become a new microanalysis instrument in recent decades．It has many advantages of rapidness，high-efficiency，little reagent and has been widely used in DNA analysis and array testing，amino acid and protein separation and biology cell research．However,CE chip needs high voltage power during sample injecting and separating process，and optical stmcture of the confocal LIF detection system is complicated,which limit the micromiuiaturization and integration of CE chip．So the study of low voltage-driven CE chip based optical fiber coupled is discussed in this paper． The low voltage—driven arrayed electrodes and optical fiber channels were integrated in one chip in this paper．Pt electrodes were sputtered on glass substrate with the Micro—Electro-Mechanical System(MEMS)．Micro channel and optical fiber channels were ached on glass cover,the substrate and the cover were packaged by fusion bonding．In the part of low voltage contr01．voltage control circuit of the electrodes was designed wim EPFl0K20TCl44-4 chip as control core．The soitwar