压力检测培训教材( 65.pptVIP

5.2.2 力平衡式压力计 原理：反馈力平衡 力平衡式压力计的基本框图 压力 位移或力 比较输出 信号转换 最终稳定输出 力平衡式压力计工作原理图 uC p1、p2差压Fp使杠杆转动，差动电容变换器↑↓，电桥输出电压uC 伺服电动机（执行电动机），在控制系统中，用作执行元件，把所收到的电信号转换成电动机轴上的角位移或角速度输出。 uC经放大后，驱动（脉冲信号）伺服电机转动，带动输出轴转动指示杠杆转角的大小；另一方面使螺栓转动，改变反馈弹簧施加在杠杆上的力Fxs。 当Fp的力矩与Fxs的力矩相平衡时，系统重新处于平衡状态。 力矩平衡时：输出轴转角 ? （螺栓旋转周数） 与压力差 ?p 成比例。 5.2.3 压力传感器 检测压力值并提供远传信号的装置。 常见形式有应变式、压阻式、电容式、压电式、振频式。 5.2.3.1 应变式压力传感器 原理：基于“应变效应”，导体和半导体材料发生机械变形时，其电阻值将发生变化 金属材料的K值约为 2~6，半导体材料K值 60~180 应变元件可做成丝状、片状和体状 金属应变片 ε为材料的应变大小 k为材料的电阻应变系数 应变式压力传感器应用 各种电子秤 吊秤 高精度电子汽车衡 几种应变式测量的结构示意 各种应变元件与弹性元件配用，组成应变式压力传感器。多应变片起到测量均衡与补偿作用。 平行双孔梁传感器 5.2.3.2 压阻式压力传感器 固体材料在应力作用下发生形变时，其电阻率发生变化的现象被称为“压阻效应”。 是利用硅的压阻效应和微电子技术制成的，是一种新型传感器。 硅平膜片受压变形 压阻式压力传感器结构示意图 利用桥式测量电路，桥臂电阻对称布置，电阻变化时，电桥输出电压与膜片所受压力成对应关系 1—硅平膜片；2—低压腔；3—高压腔； 4—硅杯；5—引线 P1 P2 应力分径向应力σr和切向应力σt ，与位置有关，适当安排扩散电阻位置，可以组成差动电桥。 测量桥路及温度补偿 为减少温度影响，压阻器件一般采用恒流源供电。 常设电桥中两个支路的电阻相等（对称互补），即 RABC=RADC=2（R+ΔRT）故有 因此，电桥的输出为 USC=IΔR 电桥输出与电阻变化成正比，即与被测量成正比，与恒流源电流成正比，即与恒流源电流大小和精度有关，不受温度的影响。 USC R－ΔR +ΔRT A C D B R－ΔR +ΔRT R+ΔR +ΔRT R+ΔR +ΔRT E I 相邻桥臂应力方向相反 5.2.3.3 电容式压力传感器 利用电容器的原理，将非电量转换成电容量，进而实现非电量到电量的转化的器件或装置。 测量范围大、灵敏度高、结构简单、适应性强、动态响应时间短、易实现非接触测量等。 电容式传感器应用：压力、位移、厚度、加速度、液位、物位、湿度和成分含量等测量。 电容式传感器应用 电容式接近开关 电容式指纹传感器 差压传感器 电容式差压变送器 高压侧进气口 低压侧进气口 电子线路位置 内部不锈钢膜片的位置 电容式压力传感器原理 S d ε d、S和 中的某一项或几项有变化时，就改变了电容C的变化。 通过电容量测量可以反映线位移或角位移的变化，也可以间接反映压力、加速度等的变化； 的变化则可反映液面高度、材料厚度等的变化。 两室结构的电容式压力传感器原理 原理：弹性元件的位移转换为电容量的变化 对于差动平板电容器，其电容变 化与板间距离变化的关系为 1，4—隔离膜片；2，3—不锈钢基座；5—玻璃绝缘层；6—固定电极； 7—弹性膜片；8—引线 P1 P2 硅油 硅油 差动平板电容器工作原理 初始状态：两侧压力相等，可动极板位于中间。则： 测压状态：设右侧压力大于左侧，中间可动极板向左移动△d。则： 利用电容差压变送器测量液体的液位 差压变送器 施加在高压侧腔体内的压力与液位成正比： p =? g h 投入式水位计 5.2.3.4 振频式压力传感器 原理：利用感压元件本身的谐振频率与压力变化的关系，通过测量频率信号的变化来检测压力 在一定的压力作用下，变化 后的振筒频率可以近似表示为 传感器由振筒组件和激振电路组成。 体积小，输出频率信号，精度高，适用气体测量 振筒式压力传感器结构示意 1—激振线圈；2—支柱；3—底座；4—引线；5—外壳； 6—振动筒；7—检测线圈；8—压力入口 P 振筒式压力传感器的结构示意图 特点：适用于气体压力的测量，其体积小，输出频率信号，重复性好，耐振；精度高，且有良好的稳定性。 5.2.3.5 压电式压力传感器 压电式传感器是一种典型的发电型传感器，以电介质的压电效应为基础，在外力作用下,在电介质表面产