球面间隙大范围测量的建模与线性化研究-中国科技论文在线.PDF

中国科技论文在线 第23卷第3朝 仪 器 仪 表 学 报 球面间隙大范围测量的建模与线性化研究 韩 丰田 高钟毓 王永粱 (清华大学 北京 100084) 摘要 有源静电悬浮轴承通过检测电极 与转子间构成的球面间隙电容以得到转子位移 在转r起支时．要能宴现球面间隙的 大范隔线性测最。本文重点推导了球面电容与球面问隙的非线性荧系，提出了采用软件非线性校正的方法实现球面间隙大范 尉测睦的线肚化 ．使转予位移的线性测量范厨可以达到杯称间隙的 ∞ ，满 足了静电轴承起支过程的要求。 关键词 微位移测量 球面 电容 电容 电桥 非线性校正 M odellingand LinearizationforLong—rangeSphericalGapM easurement HanFengtian GaoZhongyu W angYongliang (7singfiu~University，Beijing 00084．( ina) Abstract Therotormotioninanactireelectrostaticbearing isobtainedbydetectingthevariationofthespberi— ca]capacitancebetween electrodesandtherotor．It’snecessarytorealizethelongrangedetectionofthespheri— calgap in thetake—offsuspension process．Thispaperfocuseson thederivationofrelationship betweenthe sphericalcapacitanceandthesphericalgap．Bypropersimplificationotthenonlinearmodelpresentedinthispa per，anonlinearcorrectionbysoftwareisproposedt0realizethelong—rangesphericalgapmeasurement．Theli nearrangeoftherotordisplacementreaches66percentofthenominalgap whenthelinearizationisapplied． which satisfiestherequirementfortherotorliftupin electrostaticbearings． Keywords M icrodisplacementmeasuring Sphericalcapacitance Capacitivebridge Nonlinearcorrection 的线性范围达到标称间隙的66 ，极大提高了起支过 l 引 言 程的可靠性。本文分析球 面电容与转子位移间的高阶 非线眭数学模型，介绍 了-测量 电路原理，给出了采用软 静电悬浮轴承 由支承 电极和球形转子 、转子相对 件非线性校正实现转子位移大范围线 陛测量的方法 戈承 电极的位移测量 电路及静 电力反馈系统组成 。 采用球面支承 电极 与球形转子，需要测量转f相对 电 2 球面电容计算 极几何中心的偏移，即转予应移。在传统的静 电悬浮轴 承中，球面间隙的计算采用一阶近似模型，测量电路的 在 电极球腔 内作 内接正六面体，自球心引至六面