探针台大仪论证报告-室管理处-浙江师范大学.DOC

PAGE PAGE 4 大型仪器设备购置论证报告 仪器设备名称 探针台 项目名称 物理学（一流学科） 项目负责人 高先龙 填表日期 2017.09.26 实验室管理处制 填表说明 1．单价10万元及以上仪器设备的申购均需填写此表，并与申购计划一起上报有关部门。 2．所在学院（部门）组织3—7人单数技术专家进行论证，并通知项目经费管理、设备管理等部门参加论证。申请单一来源采购的需3人以上单数非本校专家参加论证；未列入全省统一论证进口产品范围的进口产品需5人以上单数非本校专家参加论证。 3．论证会由专家组组长主持，主要程序为：申购人报告、现场考察、专家质询与讨论、专家组形成论证意见并签名。 4．专家论证同意，经学院（部门）、项目经费管理部门签字并盖章后，报本科教学部（实验室管理处）网上公示一周无异议后实施。 5．此表一式1份（如设备为进口设备，请提交2份）。 设备名称 中文 探针台 英文 规格型号 申购数量 1 现行单价 人民币 19万 美元 购置经费 来源 物理学（一流学科） 运行经费来源 物理学（一流学科） 主要技术指标与功能 一、技术性能指标（含附件名称） 1、显微镜系统 1.1 气动移动支架：可以X/Y轴线性移动；移动范围：25mm×25mm。 1.2 显微镜：分辨率：优于2.5μm；无需目镜观察，可直接在显示屏上观察。 1.3 包含高清CCD。 1.4 包含LED环灯等光源照明。 1.5 具备显微镜桥接口，可以自行更换、升级显微镜。 ? 2、探针台主机 2.1 样品台（Chuck）：可装载包括4英寸以内样品；样品真空吸附，具备刻度环；平整度＜10μm。 2.2★ 具有气浮式样品台，可一键360°全量程大范围快速移动。 2.3★ 样品台可微调角度±5°。 2.4 X/Y快速平台移动范围≥150mm×200mm；微米级精细移动范围≥25mm×25mm。 2.5可方便、无风险样品装载。 2.6 针座放置平台（Platen）可调节位移≥25mm。 2.7 针座放置平台有三档调节微调高度设计（防止更换样品时，针尖与样品剧烈碰撞），平台三挡微调高度：0-300μm-3mm。 2.8 最多可容纳6组DC直流针座。 2.9 包含200℃温控模块。 ?3、探针座 3.1 自带4组磁性吸附的直流探针座。 3.2 直流针座X/Y/Z 螺杆分辨率 ≤500μm，在X/Y/Z方向行程≥10mm。 3.3 直流针座微调精度约700nm/°。 3.4 直流针座可以升级配备开尔文探针模块，漏电流最低可达1fA。 3.5 可升级射频组件。 ? 4、屏蔽罩：带有金属屏蔽罩，可屏蔽光和电磁干扰。 用房情况 地 点 面积 辅助设施配备 是否 需改建 落实 情况 管理和使用技术人员配备 姓 名 职称 专管 或兼管 是否 使用过 熟练 程度 是否 需培训 黄仕华 教授 专 是 熟练 否 方亮 讲师 专 是 熟练 否 主要用途和适用学科范围 按照固态光电器件重点实验室建设规划，实验室将重点研发高压LED、硅基和钙钛矿太阳能以及以二维薄膜材料为基础的薄膜晶体管等新型的半导体材料和器件。 因此，为有效开展上述科研工作，用于半导体特性分析的高精度交直流电源系统是实现相关测量的重要设备，是对目前在研项目能够顺利开展必不可缺的一环。该设备的采购可以与拟采购的交直流电源组成成套的半导体测试系统，将有助于推动现有科研工作的开展，并为今后的发展奠定了硬件基础。 半导体测试系统适用于物理、化学、材料工程等各个学科。 购置必要性 探针台有两个重要用途：1. 用来对纳米材料如一维的纳米线，二维的纳米片，以及金属电极等材料进行微操作，进行材料和器件之间的组装和构建； 2. 联合keithley 4200， BA1500等半导体测试仪来测量微纳器件，以及组装器件的IV，CV等的电学性能。 物理、材料科学与工程、光信息科学与工程等专业建设过程中，需要进一步加强学生动手能力的培养，提高学生实验操作技能，实验课程体系和实验室建设是重要内容。搭配了探针台的交直流电源系统购置将可以更好的开设半导体器件、材料方向的实验项目和内容，解决目前实践教学薄弱的问题，服务于专业工程论证和专业建设。 本校是否有同类设备、数量及不能共享的理由 无 安装场地满足条件（水、电、气等是否齐全）、安全保护措施落实情况、是否涉及放射源物品和剧毒品等危险性材料 场地条件满足需求，安全保护措施已落实，不涉及放射源和剧毒品等危险性材料。该套系统对劳动保护没有特殊要求，所有制度及措施按照目前国家法律、学校制度及实验室现有管理制度实施即可。 国内外同类设备、品牌、规格、性能、技术指标、特色、附件、价格、售后服务、应用支持等的比较 目前8寸以上高端的探针台主要由国外厂商占据主要的市场份额，如美国的ca