多晶硅生产工艺起源及发展.PDF

多晶硅生产技术发展 通威 为了生活更美好 TONGWEI FOR BETTER LIFE 概述 太阳能资源取之不尽、用之不竭，已成为全球应对能源安全、气候变化和环 境污染的重要手段。多晶硅作为光伏产业上游原材料，经过多年发展也实现了质 的突破，不论产量、质量、成本都有长足进步。随着晶体硅材料的成本下降，再 加上硅元素的丰富储量，晶体硅在光伏发电的地位愈加不可撼动。 多晶硅的生产工艺目前90%以上是改良西门子法，硅烷流化床法约占8%。 本报告就是回顾多晶硅生产技术的发展，并就改良西门子工艺制备多晶硅进 行探讨。 1 多晶硅工艺发展 目录 2 光伏行业对硅料需求 3 改良西门子工艺的发展方向 多晶硅生产工艺起源及发展 多晶硅发展历程 20世纪 20世纪 20世纪 21世纪 当前 50年代 70年代 90年代 起步 商业化发展 规模化发展 加速爆发式扩张 产能升级 多晶硅生产工艺起源及发展  1822年瑞典化学家Berzelius利用钾还原四氟化硅制备出单质硅；  1951年杜邦公司建设首条多晶硅工厂；  1953年贝尔实验室用氢还原四氯化硅，在钽丝上沉积多晶硅；  1955年西门子公司研发出氢气还原三氯氢硅，在硅芯上沉积，即西门子法；1957年建厂，1958年授权 给wacker公司；  1956年英国国际标准电气公司研究出通过硅烷热分解制备多晶硅方法，即硅烷法；  1958年，全球第一座真正意义上的多晶硅工厂由德国瓦克公司建成；  20世纪60年代 ，部分企业开始采用西门子法制备纯度更高的多晶硅，多晶硅产量提升至百吨量级 ；  20世纪70年代，家用电器等走入市场，集成电路规模扩大，多晶硅需求水涨船高，硅料生产研发厂家多 达上百家；  20世纪80年代，在计算机和存储器发展带动下，半导体发展再次掀起一轮发展高潮；同期产业集中到七 大多晶硅厂商（ Hemlock 、Wacker、 Tokuyama 、 REC 、MEMC、 Mitsubishi 、 Sumitomo ）；  2000年之后，光伏市场快速发展，多晶硅需求爆发式增长，中国多晶硅企业抓住机遇不断突破，逐步打 破了制约中国光伏产业发展“原料在外“的困境。 我国多晶硅产业发展 探索 起步 发展 突破  上世纪50年代我国部分科研单位和高等院校开始探索研究半导体级多晶硅生产方法；  上世纪60年代中国已有5/6家单位采用西门子法和贝尔法小规模生产多晶硅 ，1964年 ，峨眉半导体 材料厂成立 （代号739工厂 ），建设产能800千克/年的多晶硅实验线 ，1965年8月实现多晶硅产出 。1966年 ，中国第一座多晶硅工厂洛阳单晶硅厂开始筹备建设 ，由周恩来总理亲自批准 ，从日本 窒素 （chisso ）化工公司引进的成套硅材料生产技术 ，产能3吨/年 ；  上世界80年代我国半导体企业逐步走向正轨 ，我国约18家硅材料厂 ，年产能18吨左右；  2007年2月 ，中国第一条千吨级多晶硅生产线由四川新光硅业公司在乐山建成 ，正式拉开了中国多 晶硅产业大发展的序幕。同年 ，四川永祥多晶硅一期项目开始建设；  2012年开始由于欧美双反 ，中国光伏产业受到巨大冲击 ，大批多晶硅企业开始停产倒闭 ，少数得 以存活下来的多晶硅企业真正开始自强蜕变之路 ，加大资金、科研、自主创新投入 ，实施扩产技改  2016年 ，中国多晶硅产量达到19万吨 ，历史上首次在全球产量占比达到50% ；同