多晶硅中杂质含量分布及其检测方法的探讨.PDF

UWOZ 年 _ 月 化; 学; 工; 业; 与; 工; 程 第 ZW 卷 第 R 期 ; 91F]UWOZ (-!H=(.;=8?@GAS;.8?;!8C=8!!S=8C T%F]ZW 8%]R %%%%%%%% % % 应用技术 % ;; 文章编号 %OWWR VPYZZ #UWOZ $WR VWW_Z VW[ % %%%%%%%% 多晶硅 中杂质含量 *分布及其检测方法 的探讨 O U Z $ 李 闻笛 !廉景燕 !丛; 山 !O] ZWWW_U +U] ZWWZQR + 天津大学化工学 院 天津 天津理 工大学化学化工学 院 天津 Z]精 馏 技术国 家工程研究 中心 天津 ZWWW_U 摘要 %多晶硅 中杂质 的组成及含量是衡 量 多晶硅产 品质 量的 重要 指标 之 一 #由于其 杂质 组成复 杂 % 含量低 于常规检 测方 法检 出限 #这 就 使 对 多 晶硅 中杂 质 含量 %分布及检 测 方 法 的研究具有 重要 意 义 $ 概 述 了 目前 用于检 测分析多 晶硅 中杂 质 含量 %分布的 方 法及 其 优 缺点 ’总 结了 近 年 来 国 内外 在 多晶硅杂质检 测方 法研究 中的进展 以及 多晶硅 中杂质 的含量和分布数 据 #为 多晶硅 的检 测提 供 了参 考 $ % ’ ’ ’ ’ 关键词 多晶硅 杂质 含量 分布 检 测方 法 中图分 类号 %/[Y_^Z; 文献标志码 %. Q%-,--%4*4=!4*#*./’.%4*Q%-./%C,.%4*’*+Q#.#.%4*?#.4+-4= )$M,/%.%#-%*4(0-%(%4* O U Z $ =K*’2# =.89#’42D7’ (/8CG)7’ !O]G6)%%F%+()*3#67F!’4#’**#’47’ A*6)’%F%4D A#7’L#’ @’#d*5#$D A#7’L#’ ZWWW_U ()#’7+ U]G6)%%F%+()*3#5$D7’ ()*3#67F!’4#’**#’4 A#7’L#’ @’#d*5#$D%+A*6)’%F%4D A#7’L#’ ZWWZQR ()#’7+ Z]87$#%’7F!’4#’**#’4S*5*76) (*’$*+%?#5$#FF7$#%’ A*6)’%F%4D A#7’L#’ ZWWW_U ()#’7 BC-./’.#(%3c%5#$#%’ 7’ 6%’6*’$7$#%’ %+#3c1#$#*5#’ c%FD5#F#6%’ 7*#3c%$7’$+76$%5*$*3#’#’4$)* M17F#$D%+c%FD5#F#6%’ c%16$#%’]?1*$%$)*6%3cF*:6%3c%5#$#%’ 7’