第五章-光学薄膜系统的设计(一).pptVIP

* 光学薄膜系统的设计（一） ——减反射膜、分束镜 单层减反射膜 由图可知，合振幅矢量r随r1和r2的夹角而变化，当膜层光学厚度为某一波长的1/4时，则两个矢量的方向完全相反，合矢量最小。 在可见光区，使用最普遍的是折射率1.52的冕牌玻璃，理想的薄膜的折射率是1.23，而至今能利用的薄膜的折射率为1. 38（MgF2） 越接近或满足 ，中心波长的增透效果更好。 单层减反膜的缺陷： 对大多数应用，剩余反射率还显得太高 从未镀膜表面反射的光线，在色彩上仍保持中性，但镀膜表面反射的光线破坏了色平衡 解决的方法是： 采用变折射率的所谓非均匀膜 采用几种折射率不同的均匀膜构成减反膜，即多层减反膜 双层减反射膜 折射率为1.52的基片，先沉积一层折射率1.70、厚度为四分之一波长的薄膜，此时 ,相当于基片折射率从1.52提高到了1.90，刚好满足理想减反射条件，参考波长处反射光几乎为零。 光谱反射率呈V字形，所以把这种λ/4-λ/4双层减反膜称为V形膜 或 由于能作镀层用的材料是很有限的，因而选择折射率的余地不大，这是我们可以先确定两层膜的折射率，而后通过调整膜层厚度实现零反射。（矢量作图法） 矢量法确定V形膜厚度的图解 λ/4-λ/2双层减反膜——W形膜 对于中心波长λ，厚度为λ/2为虚设层，对反射率毫无影响，但影响其他波长的反射率，适当选择虚设层的折射率，可以减少中心波长两侧的反射率，因此安排的λ/2厚度的虚设层是平滑膜系反射或透射特性的作用。 多层减反射膜 多层减反膜多是由1/4波长层和半波长层构成的，可以看作W形膜和V形膜的改进形式。 反射率几乎为零但带宽显著减少 为了增加低反区的宽度，可以在基底上附一层低折射率的半波长层。起着平滑反射特性的作用。 三层减反膜改进前后的光谱反射率曲线 半波长层平滑并展宽低反射带的宽度 三层减反膜的光谱反射率曲线 高折射基片的减反射膜 分束镜 金属分束镜 介质分束镜 *