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第 44 卷第 4 期 硅 酸 盐 学 报 Vol. 44 ，No. 4
2 0 1 6 年 4 月 JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY April ，2016
DOI ：10.14062/j.issn.0454-5648.2016.04.14
溶胶–凝胶合成Zn Cd O 薄膜的结构形貌和光学性能
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黄 波，刘 超，夏冬林，王 朔，赵修建
(硅酸盐建筑材料国家重点实验室，武汉理工大学，武汉 430070)
摘 要：采用溶胶–凝胶法在玻璃基底上制备镉掺杂氧化锌(Zn Cd O)薄膜。利用 X 射线衍射仪、场发射扫描电子显微镜、
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紫外–可见分光光度计研究了镉掺杂量、预处理温度对薄膜结构及其光学性能的影响。结果表明：当预处理温度为 150 ℃，
且x0.3 时，Zn Cd O 薄膜为六角纤锌矿结构；当x ≥0.3 时，Zn Cd O 薄膜出现立方岩盐矿结构。制备的薄膜表面的晶粒
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分布均匀且致密，平均晶粒尺寸随掺杂量的增加先减小后增大。Zn Cd O 薄膜在可见光范围内透过率均高于 80%；随着镉
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掺杂量增大，薄膜的吸收边红移，其禁带宽度逐渐由 3.3 eV(x=0)减小至 2.2 eV(x=1.0) 。
关键词：镉掺杂氧化锌薄膜；溶胶–凝胶法；光学带隙；晶体结构
中图分类号：O484 文献标志码：A 文章编号：0454–5648(2016)04–0554–07
网络出版时间：2016–03–18 16:07:24 网络出版地址：/kcms/detail/11.2310.TQ1607.014.html
Structure and Optical Properties of Zn Cd O Thin Films Prepared by Sol–gel Method
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HUANG Bo, LIU Chao, XIA Donglin , WANG Shuo, ZHAO Xiujian
(State Key Laboratory of Silicate Materials for Architectures, Wuhan University of Technology, Wuhan 430070, China)
Abstract: The Cd-doped ZnO (Zn Cd O) films were deposited on glass substrates by a sol–gel method. Effects of C
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