金属离子注入氧化物材料引起的结构和光学性质变化研究-材料科学与工程;材料物理与化学专业论文.docxVIP

摘 要 离子注入因为其多方面优势，在合成纳米复合材料方面占有重要地位。镶嵌 在绝缘体中的金属纳米颗粒可用来改性半导体材料的光学特性，从而使其在光学 器件方面有重要应用。本论文使用离子注入方法合成了金属纳米颗粒，并研究了 金属离子注入 ZnO 薄膜的结构和光学特性。同时，使用第一原理方法计算了金 属离子掺杂的 ZnO 的电子结构和光学特性。本论文的主要研究内容和结果如下： 首先，使用能量为 45 keV、剂量为 1×1017/cm2 的 Cu 离子注入到 Si3N4/Si 和 SiO2 中，研究了 Cu 离子注入 SiO2 的结构特性和光学特性。通过 X 射线衍射技 术分析发现 Cu 纳米颗粒主要形成了 Cu（111）结构。进一步，通过横断面透射 电子显微镜发现 Cu 纳米颗粒的平均尺寸为 12.84 nm。通过紫外-可见-近红外分 光光度计研究发现 Cu 纳米颗粒在 Si3N4/Si 和 SiO2 基底中的表面等离子共振位于 565 nm 和 569 nm。随着退火温度的增加，表面等离子共振分别红移到了 570 nm 和 572 nm。同时，研究发现 Cu 纳米颗粒在 Si3N4/Si 基底上的发光峰位于 600 nm， 其发光量子效率大约为 0.001。使用了 X 光电子能谱研究发现所有的 Cu 都是以 0 价形式出现。我们讨论了 Cu 纳米颗粒的发光机理。 其次，分别使用了能量为 80 keV、剂量为 2×1016/cm2 的 Au 离子和能量 45 keV、剂量为 2×1016/cm2、6×1016/cm2 和 1×1017/cm2 的 Ag 离子注入到 ZnO 薄膜 中。研究了 Au 和 Ag 离子注入到 ZnO 薄膜的结构和光学特性。研究发现 Au 离 子注入能在 ZnO 薄膜中形成 Au 纳米晶，随后观测到了 530 nm 的新发光峰。同 时，研究发现所有剂量的 Ag 离子都在 ZnO 表面形成了 Ag 的纳米晶，Ag 的注 入可以有效的增强 ZnO 的拉曼信号。对于不同剂量而言，高剂量的效果明显要 好于低剂量的效应。在随后的 300-700 ℃退火过程中，发现所有的拉曼信号都增 强，但 6×1016/cm2 注入剂量的增强效果最佳。而 Ag 离子的注入并没有显著改变 ZnO 薄膜的发光强度。结合我们的结果进行了相关的讨论。 最后，使用了标准密度泛函理论（GGA-PBE）研究了 Sb、Pt、Ag 和 Au 离 子掺杂 ZnO 晶体的几何结构、电子结构和光学特性。研究发现 Ag 的晶格畸变较 小，而 Pt 的晶格畸变较大。电子结构研究发现，Ag 掺杂的 ZnO 容易在价带顶 端形成定域的电子态，而 Au 的掺杂倾向于形成杂质态。研究发现 Ag 和 Au 是 一种浅受主，可以辅助增强 ZnO 的价带电子态。随后的光学跃迁表明 Ag 和 Au 离子的掺杂可以有效增强 ZnO 的介电函数虚部。 关键词： 离子注入 金属氧化物 纳米颗粒 光学特性 结构特性 I II II III III ABSTRACT Due to controlled energy and fluence, ion implantation is widely used in semiconductor doping, surface modification of materials and synthesis of nanomaterials. Meanwhile, surface plasmon resonance of metal nanoparticles can be used to modify photoluminescence and Raman scattering. In this thesis, ion implantation has been employed to synthesize metal nanoparticles, and investigated their structral and optical properties. Further, luminescence and surface-enhanced Raman scattering of metal-implanted ZnO were investigated. The main results and conclusions of the thesis are as follow: Firstly, Si3N4/Si and SiO2 were injected with 45 keV Cu ion at a fluence of 1× 1017/cm2 Cu ions. X-ray diffraction analysis showed th