基于液体透镜电动扫描的显微三维重构技术-计算成像试验室-北京.PDF

研讨会·论文集 2014年5月 全国射线数字成像与cT新技术 中国·厦门 基于液体透镜电动扫描的显微三维重构技术 杨海娟，屈玉福 (北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院，北京100191) 摘要：本文提出了一种基于液体透镜电动扫描的显微三维重构技术。首先，在数字显微镜光路中 添加可用电压控制焦距的液体透镜，通过对其驱动电压进行扫描变化来使得其对～系列连续深度 范围内物体进行成像，由于显微镜的景深较短，拍摄的序列图像是各个深度上的局部聚焦图像， 其携带了物体表面轮廓的深度信息。在后续的图像处理手段中，利用Shape—from-Focus算法将该 深度信息恢复出来，利用拉普拉斯金字塔图像融合获取到全聚焦图像，最终实现了显微三维重构。 关键词：显微三维重构：液体透镜；拉普拉斯金字塔融合；Shape—from-focus 景深是可清晰成像的物空间深度…，对于光学显微镜来说，为了获取到较高的空间分辨 率需要增大其系统的数值孔径，从而反过来减小了显微镜的景深，进而引起光学显微镜只 能对距离范围为几十微米甚至几微米的范围可清晰成像，当显微镜物镜为lOX时，其对应 的景深大约是8．5呷，限制了其对有深度物体三维观察的能力。因此当物体的深度范围跨 度较大时，无法对全部物体进行清晰成像，从而引起观察和测量的不便。例如，当对集成 芯片上表面和管脚的同时检测、MEMS器件不同高度上尺寸的检测、球形表面或者其他复杂 表面上关键尺寸和缺陷检测等。因此设计出一种可以对微型物体进行超景深三维观察的方 法很有必要。 Shape—from-focus算法心1通过对物体范围内进行扫描成像得到分辨在各个深度聚焦的 序列图像，每幅图像有聚焦清晰区域和模糊区域，然后在序列图像中通过一定融合规则获 取到每一个像素对应的聚焦清晰位置，从而重建出一幅每一景深部位都十分清晰的图像， 再通过聚焦分析恢复深度信息，最后对深度信息进行插值拟合，恢复出比较精确的物体深 度信息，从而通过二维图像序列进行三维重建和测量。目前序列图像的获取通常是通过精 密升降台移动物镜或者样品得到，但该种方法受到精密升降台的精度和速度限制，同时系 统相对复杂。 在本文中，一个可用电压控制其焦距变化的液体透镜被添加进显微镜光路中，通过改 变其焦距实现对样品的扫描拍摄获取到序列图像，并利用后续的图像处理具体算法实现了 三维重构。 1系统原理介绍 1．1三维成像光路原理介绍 三维成像系统通过在一个现成的显微镜系统中嵌入一个可变焦液体透镜而成，经过仔 细的设计和优化，液体透镜嵌入到光学显微镜的光路图如图2所示，液体透镜放到显微物 镜的后面口1，这样的设计可以使得光学显微镜在液体透镜的焦距变化时，光学系统的整体放 大率在一定的工作距离范围内放大率变化不大。 36 杨海娟等：基于液体透镜电动扫描的显微三维重构技术 1．2液体透镜原理介绍 液体透镜是基于电湿效应原理H3的一种新型光学透镜，其原理结构图如图2所示，其内部 包含两种液体，一种为导电液体，另一种为绝缘液体，两种液体互不浸润且有一定的折射率 差，两种液体装在内壁镀有透明电极的容器中，透明电极的表面沉淀一层疏水介电层，这样， 就在两层液体之间形成两个接触角和接触面。当在导电液体和内壁透明电极之间施加电压后， 导电液体与电极间电场改变，从而使得接触角和接触面的形状发生改变，液体透镜的焦距也就 发生改变。 图1 嵌入液体透镜光学显微镜光路示意图 2．1图像融合算法 图像融合将不同聚焦深度拍摄的多幅图像融合 成一幅大景深图像，目前图像融合较好的方法是基 于多分辨率分析的技术，其中较成熟的方法有基于 拉普拉斯金字塔变换哺1的、梯度金字塔哺1，以及小波 变换Ⅲ。本论文采用了基于拉普拉斯金字塔分解的图 像融合，该方法可以实现在多个分辨率上的图像融 合，且计算速度相对较快。对图像进行k层拉普拉 斯金字塔分解如下： J厶=q—vP(G,+1)@95。5(1≤f≤尼一1)r1、 图2液体透镜原理结构图 “。 1厶=G