可直接观察液体样品的原位电镜技术.PDF

直接观察液体样品的原位电镜技术 电镜通常在高真空下工作，要求所观察的样品无水且无易挥发的其他溶剂， 而很多样品(如生物样品、自组装体系)在干燥状态下和在溶剂中的存在或聚集状 态不同，干燥之后在电镜中观察的结构有所变化，应用光学显微镜分辨率又不足， 因此，需要在电镜中原位观察液体样品。原位液体电镜技术（in situ EM ）还可 观察溶液中进行的化学反应过程，对于研究反应原理及控制反应过程具有重要意 义。 自发明电镜以来，直接观察液体样品就是电镜的一个发展方向，其中一个重 要的方法是应用差分抽真空系统在电镜中形成一个开放的液体样品仓，但是还存 在真空比较高及液体厚度不好控制等问题，近年来，随着微加工、微流控技术及 电镜本身技术的发展，使用氮化硅(SiN)、碳薄膜(carbon foil)及石墨烯(graphene sheet)作为液体样品腔(liquid cell)的原位电镜技术已取得了较大的进步。 1.用于原位观察的液体样品腔 应用液体样品腔在电镜中进行观察的原来如图1 所示，在透射电镜中，电子 束通过很薄的液体层后进行成像，在扫描电镜中，电子束入射到样品上产生背散 射电子由探头吸收后成像。 Figure 1 (a) TEM imaging of nanoparticles in a liquid fully enclosed between electron transparent windows. (b) SEM of a liquid sample under an electron transparent window. 液体样品腔需要满足几个条件：(1) 透射电镜(TEM)是采集透过样品的电子 信号得到样品的结构信息，扫描电镜是通过电子束在样品上扫描，收集样品产生 的二次电子和背散射电子等得到样品的结构信息，所以要求样品腔体观察窗口材 料对电子束透明； (2) 电镜在高真空工作，要求液体样品腔(liquid cell)有很好的 密封性及一定的机械性能；(3)透射电镜通常要求样品厚度小于0.5μm，所以液体 样品腔的观察窗口要薄，并且要控制形成较薄的液层厚度。基于以上要求，目前 使用的样品腔观察窗口有氮化硅(SiN) 、碳薄膜(carbon foil)及石墨烯(graphene sheet) 。其中较为成熟的是氮化硅，其膜厚度均匀、机械性能好、生产工艺成熟， 液体样品腔是由以氮化硅薄膜(通常厚度为20-100nm)为观察窗口，以硅为基底的 两个芯片组成，可外加流动系统控制液体样品循环流动，如图2所示。以石墨烯 (graphene sheet)为观察窗口的液体腔结构如图3所示，石墨烯片层包裹液体样品， 由于石墨烯及液层更薄所以可达到更高的分辨率，但制备样品腔的方法还不成 熟。 Figure 2 (a) A single Si microchip with an electron transparent SiN window. The dimensions of the microchip are 2.0 × 2.3 × 0.3 mm. (b) A microfluidic chamber formed from two of the microchips, showing the liquid flow direction. Figure 3 (a) TEM image of a graphene liquid cell; laminated graphene layers immobilize a blister of encapsulated stock solution (dark region). Scale bar, 50 nm. (b) Idealized illustration of local grapheme liquid cells encapsulating growth solution. 2.液体对电镜分辨率的影响 相对于干燥的样品，液体中的溶剂对入射电子的散射作用增大了电子束的能 量色散，从而使分辨率下降，液层越厚分辨率越低。对于透射成像，假定样品位 于样品腔底部即透射电子的出射端，且观察窗口对于电子束没有影响，电镜的分 辨率可近似表示为： 其中，α为物镜孔径半角，Cc 为色差系数，E 为电子束能量，ΔE