对铜钨纳米多层膜界面稳定性的影-物理学报.PDF

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2019-04-13 发布于天津
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对铜钨纳米多层膜界面稳定性的影-物理学报

Acta Phys. Sin. Vol. 61, No. 17 (2012) 176802 * † ( , , 610064 ) ( 2011 12 28 ; 2012 2 16 ) , Ar Ar, He Cu/W . (EPBS) (SEM)X (XRD) Cu/W He . : . , . : Cu/W, , , PACS: 68.65.Ac, 68.37.Hx, 75.30.Hx Al O [10], TiN[11], SiC[12] 2 3 1 , He , , [13]. , , , ,He , , , [14]. (He) , , Misra [15] [1,2] . He He . , [3,4] . , He 60 He, He . 70 , . [16], , He . , [5]. [6], , He , He . He , . , He-V () , , He . , He He[17], , He , He [7]. . , , , , [18]. , [8]. , Cu/W , , , He ( 19.25%), . , , He , , W, Mo [9] . He * (:, (: 2008FZ0002), (: NCET-08-0380) (: 201011006) . E-mail: wyuan@ c 2012 Chinese Physical Society 176802-