第二章电容传感器(2)分解.pptVIP

有一台变间隙非接触式电容测微仪，其传感器的极板半径为r=5mm,假设与被测工件的初始间隙为 d0=0.5mm，已知真空的介电常数为8.854×10-12 F/m，求：（1）传感器与工件的间隙变化量增大 ，电容变换量是多少？（2）如果测量电路的灵敏度Ku=100mV/pF，则在间隙增大 时的输出电压时多少？ 传感器与检测技术 天津工业大学电气工程与自动化学院 主讲 王红一 内容回顾 1. 电阻应变片的工作原理 导体或半导体材料在外应力作用下，会产生机械变形，其电阻值也将随着发生变化，这种现象称为电阻应变效应。 金属电阻应变片 电阻应变式传感器 半导体式应变片 形变导致电阻变化起主导作用，电阻率变化很小可忽略。 性能稳定，精确度高，变形量偏大，线性度好。 灵敏度系数较小（2.4~2.6），对粘贴工艺要求严格。 半导体材料的电导率变化起主要作用，形变可忽略。 灵敏系数大，弹性元件与应变电阻集成一体。 电阻和灵敏系数的温度系数大、非线性大和分散性大。 内容回顾 2. 电阻应变式传感器的测量电路 （1）直流电桥平衡条件 （2）输出灵敏度 （3）温度补偿 第二章 电阻应变式与电容式传感器 2.1 电阻应变式传感器 2.2 电容式传感器 2.2.1 电容式传感器的特点 2.2.2 电容式传感器的工作原理 2.1.3 电容式传感器的测量电路 2.1.4 电容式传感器的应用 2.2 电容式传感器 电容式传感器（capacity transducer/sensor）是以电容器作为传感元件，将被测物理量转换为电容的变化量，再经转换电路转换成电压、电流或频率等信号输出的测量装置。它不但广泛应用于位移、振动、角度、加速度等机械量的精密测量，而且可以用于压力、压差、液位、成分含量等方面的测量。 2.2.1 电容式传感器的特点 优点： 精度可达±0.075％。 灵敏度高：利于微压测量。 动态响应好：适合动态信号测量。 ΔC/C相对变化量大：30—50％ ? 输出信号大、抗干扰能力强。 结构简单，环境适应性强，工作稳定性优良。 抗过载能力强，过载消除后可恢复正常工作。 非接触式测量。 缺点： 安装方位有影响； 存在分布电容的影响； 测量膜片工作特性存在非线性。 制造难度大：（微位移：0.1mm），加工精度要求高。 开环 ? 误差按1：1 传递。膜片微小蠕变、测量电路误差 ? 影响整机性能。 2.2.2 电容式传感器的工作原理 平板电容式传感器由两个金属极板，中间夹一层电介质构成。在不考虑边缘效应的情况下，其电容量为： （2-34） A 为电容两平行板所遮盖的面积； 为极板间介质的介电常数（F/m）； 是极板间介质相对介电常数； 是自由空间（真空）介电常数, ; d 为两平行板间距离(m) 电容式传感器的分类 由式 (2-34) 可知，当 A 、 和 d 三个变量发生变化时，电容量C将随之发生变化。通常情况下保持其中两个变量不变，只改变另一个变量，然后把其变化转换成电容量的变化，通过测量电路将其转换成电量输出。据此，电容式传感器分为三种：变极距型电容式传感器、变面积型电容式传感器和变介质型电容式传感器。 （2-34） 2.2.2 电容式传感器的工作原理 如果极板间的距离变化很小， ，将上式 按泰勒级数展开 1) 变极距型电容式传感器 当电容式传感器的介电常数和面积不变，极板间距离初始值为 ，缩小了 ，则其初始电容 和改变后电容 分别为： 变极距型电容式传感器 （1）单一变极距型电容式传感器 由此可见，这时 和 近似呈线性关系，所以改变极板距离的电容式传感器往往设计成 在极小范围内变化。 （2）差动电容传感器 当中间极板移动 后： 变极距型电容式传感器 忽略高次的非线性项： 若位移量 很小，且 ，则电容总的变化量 ，按泰勒级数展开为： 电容量的相对变化为： 电容的变化量与位移近似呈线性关系 变极距型电容式传感器 变极距型电容式传感器 差动式电容传感器与单一变极距式对比： 单一变极距 差动式 灵敏度