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- 2019-03-12 发布于湖北
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科學與工程技術期刊 第三卷 第一期 民國九十六年 1
Journal of Science and Engineering Technology, Vol. 3, No.1, pp. 1-8 (2007)
偏壓輔助成核對多晶 CVD鑽石成長之影響
李世鴻 焦繼葳
大葉大學電機工程學系
彰化縣大村鄉山腳路 112號
摘 要
本研究藉由改變偏壓輔助成核階段中包括偏壓時間、偏壓大小、碳氫濃度比、壓力等各種
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