偏压辅助成核对多晶CVD钻石成长之影响.PDFVIP

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  • 2019-03-12 发布于湖北
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偏压辅助成核对多晶CVD钻石成长之影响.PDF

科學與工程技術期刊 第三卷 第一期 民國九十六年 1 Journal of Science and Engineering Technology, Vol. 3, No.1, pp. 1-8 (2007) 偏壓輔助成核對多晶 CVD鑽石成長之影響 李世鴻 焦繼葳 大葉大學電機工程學系 彰化縣大村鄉山腳路 112號 摘 要 本研究藉由改變偏壓輔助成核階段中包括偏壓時間、偏壓大小、碳氫濃度比、壓力等各種

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