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- 2019-03-12 发布于江苏
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磁控溅射法制备耐冲蚀钛合金复合涂层研究进展
田贵双1戈超2 张俊秋2
(武汉理工大学机电工程学院 湖北 武汉 430070)
(吉林大学工程仿生教育部重点实验室, 吉林 长春 130025)
摘 要:本文介绍了磁控溅射地基本原理,以及几种典型地磁控溅射镀膜技术(反应溅射、非平衡磁控溅射、等离子体加强磁控溅射技术);并介绍了利用磁控溅射技术制备钛合金耐冲蚀涂层地新进展.b5E2RGbCAP
关键词:磁控溅射;耐冲蚀;钛合金
中图分类号:
Recent studies onerosion resistancetitanium alloy HYPERLINK /dict_result.aspx?searchword=%e5%a4%8d%e5%90%88%e6%b6%82%e5%b1%82tjType=sentencestyle=t=composite+coatings composite coatingsdeposited bymagnetron sputtering methodp1EanqFDPw
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(School of Mechanical and Electronic Engine
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