四英寸四硼酸捏压电晶体的生长研究.PDF

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 , 一 文章编号 一 四 英寸 四 硼酸捏压 电晶体 的生长研 究 徐家跃 , 范世骆 , 华王 祥 中 国科 学院 上 海 硅 酸 盐 研 究所 , 上 海 摘 要 以直径 英寸 晶体为籽 晶, 采用改进型增涡下 降法在 增竭 中生长 了直 · 、 、 径 长度 无宏观缺 陷的高质量 晶体 生长速率 , 固液界 、 、 面 附近 的温度梯度约 为 探讨 了开裂 孪 晶 包裹体等缺 陷的形成和 消 除办法 , 测试 , , 了该 晶体 的性 能 介 电常数 , 压 电系数 心 机 电偶合 系数 碗 高机 电偶合系数和低介 电常数表 明该 晶体在高频声表面波器件应用方面具有很大 的潜力 关 键 词 压 电晶体 四硼 酸锉 增涡下 降法 晶体生长 中图分类号 文献标识码 引言 、 、 压 电晶体广泛用于制作谐振器 滤 波器 换能器 等 电子元器件 , 是现 代通 讯与 电子 技术 产业 不 可或缺 的基 本材 料 随着现 代通 讯产业 的迅 速 发展 , 压 电晶体 的需求量 日益增 大 , 质量 和 性 能要 求也越 来越 高